真空测量产品

为您的应用找到理想的真空传感器

无论您是需要用于工业流程、研究实验室还是专业高科技应用的高精度真空传感器，我们的选择工具都可以帮助您通过真空传感器类型、压力范围和接口确定最佳解决方案。

从全系列的数字真空计、真空传感器和真空控制器中进行选择，根据您的确切规格（包括连接类型、输出信号和精度要求）进行定制。Sens4 提供可靠耐用的真空测量解决方案，专为在苛刻的环境中运行而设计

VDM-3 陶瓷隔膜式自动柜员机

• 0.1 至 1333 mbar 测量范围
• 耐腐蚀陶瓷隔膜
• 大气开关功能
• 3 个设定值继电器，用于过程控制

VDM-3 陶瓷膜片 ATM 真空传感器具有耐腐蚀的氧化铝膜片，该膜片会根据施加的压力而弯曲。核心压力传感器元件采用压阻式测量技术。该隔膜传感器测量真空气体压力，不受气体类型或成分的影响。

除了绝对压力传感器外，集成的气压传感器还可以测量环境压力并生成相对于环境压力的真空测量信号。这种相对于大气压力的测量可以精确控制真空系统排放到大气压期间的压力。

与通常使用充油传感器元件的不锈钢压电陶瓷真空传感器相比，VDM-3 陶瓷压电传感器元件清洁干燥，消除了污染真空系统的风险。

电容式隔膜真空计的替代品

电容式隔膜真空计用于许多真空应用中，用于高级过程的测量和控制。VDM-3 传感器是传统 1000 Torr/mbar 满量程电容膜片真空计 （CDG） 的一种经济高效且紧凑的替代品。

对于需要单独大气开关的应用，VDM-3 可以将真空测量和大气开关功能整合到一个设备中。

专为恶劣环境而设计

VDM-3 可用于可能存在腐蚀性气体和化合物的苛刻真空应用。陶瓷氧化铝隔膜对许多溶剂和酸具有出色的耐腐蚀性。

VDM-3 传感器还可选配聚对二甲苯保护屏障，以防止传感器材料腐蚀或氧化。聚对二甲苯是一种独特的聚合物，具有高度的耐腐蚀性和疏水性，专为医疗器械的冻干和过氧化氢等离子体灭菌等医疗应用而设计。

在存在宏观颗粒的真空系统和过程中，可选的保护挡板可作为防止污染物沉积在传感器隔膜上的有效屏障。

氧化铝传感器元件设计坚固，能够承受瞬时通风和高达 2 bar 绝对压力 （29 psia） 的过压。

模拟电压输出

模拟输出为外部压力读数或控制提供电压信号。

VDM-3 传感器具有许多不同的预配置模拟输出曲线，可无缝替换来自不同供应商的仪表。

此外，用户可以配置输出以进行任意线性缩放。

 

连接数字

RS-232 和 RS-485 串行接口有助于传输测量数据，而不会因电缆长度过长而降低信号质量，也不会受到电噪声的干扰。

数字界面支持诊断、预测性维护、服务、校准、设定点配置、模拟输出缩放和实时真空压力测量采集，以实现屏幕可视化。

当模拟输出设置为缩小的测量范围时，例如 100 Torr 满量程，数字输出独立提供高达 1333 mbar （1000 Torr） 的全量程测量。

 

强大的设定点继电器控制

三个独立的固态开关继电器可用于泵、阀门、安全联锁电路和其他外部设备的外部控制。

与机电继电器相比，固态继电器具有卓越的可靠性和更快的开关时间，同时提供无电弧触点，并且在开关时不会产生 EMI（电磁干扰）。

VDM-3 继电器经久耐用，经过 UL 认证、CSA 认证和 EN/IEC 60950-1 认证，在用于控制关键真空过程和高循环应用时具有最大的信心。

 

其他供应商兼容性 

直接替换真空传感器的设计具有连接器引脚兼容性，无需更换电缆即可无缝更换其他供应商的仪表。

此外，这些传感器还模拟了模拟输出缩放和其他制造商的等效产品范围。

此外，Sens4 传感器能够模拟数字串行通信协议，无需调整真空设备的通信软件即可轻松安装。这种数字协议仿真可确保与来自不同供应商的电源和控制器显示单元兼容。