丹麦SENS4 A/S VPM-7-10202133真空传感器
该SENS4 A/S VPM-7 SmartPirani™ ATM传感器专为半导体负载锁压力控制和其他需要准确测量相对于大气环境压力的应用而设计。
SENS4 A/S VPM-7 提供了同类中最好的性能，具有更宽的测量范围、更高的精度和比传统负载锁传感器更快的测量周期，以及其他负载锁传感器解决方案。
SENS4 SmartPirani™ ATM通过将热导率Pirani热损失真空计的可使用测量范围扩展1-3个数量级，建立了新的标准。
多合一多传感器变送器解决方案
SENS4 VPM-7 是一款真正的多传感器变送器，具有四个压力输出：一个气压环境传感器、一个宽范围热损失 Pirani 传感器、一个绝对膜片传感器，以及一个与大气压力相关的信号，它们共同作用于现代负载锁真空腔，以优化准确的压力控制。膜片传感器提供从 2 到 1333 mbar（1.5 到 1000 Torr）的精密气体独立绝对读数。
装料锁是一个用于在大气压力和需要将晶圆转移到处理腔的适当真空水平之间循环的真空腔，以装载设备，如半导体晶圆。装料锁通常在大气压力和处理腔所需的适当真空水平之间进行切换。装料锁内准确的压力控制对于防止外界空气和颗粒污染、保护腔体和晶圆免受损害至关重要。
可靠的设定点继电器控制
三个独立的固态开关继电器允许外部控制负载锁压力循环，包括泵、阀门、安全联锁电路、PLC和其他设备。
与电磁继电器不同，固态继电器提供更高的可靠性以及更快的切换时间，具有无电弧接触和切换过程中不产生电磁干扰（EMI）。
SENS4 SmartPirani™ ATM继电器经过设计以确保耐用性，并且获得了UL认证、CSA认可和EN/IEC 60950-1认证，确保在关键真空过程和高循环应用中可靠运行。
模拟输出
模拟输出电压为外部监控或控制提供信号。SENS4 VPM-7 对于 mbar、Torr 或 Pascal 提供标准电压输出，每十年 1 VDC。
此外，它可以由用户配置或预配置为广泛的其他模拟输出选项，允许无缝替换来自其他制造商的仪表。
数字接口
RS-232和RS-485串行接口便于将压力和温度测量数据传输到外部设备。
这个数字接口支持诊断、预测性维护、服务、校准、设定点配置、模拟输出缩放以及实时获取真空压力测量值以进行屏幕可视化。
耐腐蚀传感器
通常，装卸锁装置的安装是干净且无腐蚀性气体的。然而，可选的耐腐蚀传感器使VPM-7 SmartPirani™ ATM能够在存在强酸强碱或残余蚀刻气体的应用中使用。
陶瓷是一种高度耐腐蚀的材料，常用于电容式膜片压力计的真空传感器膜片。
Parylene是一种以其强大的耐腐蚀性和疏水性著称的独特聚合物。
