代理SENS4 A/S VPM-7-10201232传感器,测量范围1×10-6 to 1333 mbar

代理SENS4 A/S VPM-7-10201232,测量范围1×10-6 to 1333 mbar

该SENS4 A/S  VPM-7 SmartPirani™ ATM传感器专为半导体负载锁压力控制和其他需要准确测量相对于大气环境压力的应用而设计。

SENS4 A/S VPM-7  提供了同类中最好的性能，具有更宽的测量范围、更高的精度和比传统负载锁传感器更快的测量周期，以及其他负载锁传感器解决方案。

SENS4 SmartPirani™ ATM通过将热导率Pirani热损失真空计的可使用测量范围扩展1-3个数量级，建立了新的标准。

多合一多传感器变送器解决方案

SENS4 VPM-7 是一款真正的多传感器变送器，具有四个压力输出：一个气压环境传感器、一个宽范围热损失 Pirani 传感器、一个绝对膜片传感器，以及一个与大气压力相关的信号，它们共同作用于现代负载锁真空腔，以优化准确的压力控制。膜片传感器提供从 2 到 1333 mbar（1.5 到 1000 Torr）的精密气体独立绝对读数。