丹麦 SENS4 VDM-7 DiCAP™ 系列ATM 隔膜传感器

VDM-7 DiCAP™ ATM 传感器双传感器设计树立了新标准,通过提供从 5.0E-3 到 1333 mbar 的经济高效、不受气体影响的测量范围,它从其他真空计中脱颖而出。此外,它还提供相对于环境压力的额外测量,从而能够准确、精确地控制真空系统的通风。

在气体成分或类型可能不同的真空应用中,传统的气体依赖型皮拉尼真空计通常会产生与实际压力较大的测量偏差。VDM-7 传感器使用精密电容隔膜计 (CDG) 传感器,消除了对气体的依赖性,在气体特性发生变化时也能提供准确的测量。

双膜片传感器

5.0E-3 至 1333 mbar 测量范围,不受气体类型影响

耐腐蚀性

可选陶瓷或聚对二甲苯传感器保护

数字和模拟接口

灵活的系统集成,具有数字接口、模拟输出和设定点继电器

大气切换

相对于大气压力的测量可实现对排气周期的精确控制。

重新思考真空测量

VDM-7 DiCAP™ ATM 是一款创新的多传感器真空计,是升级传统皮拉尼真空计应用性能的理想选择,也是使用单独电容压力计和皮拉尼真空计的应用的成本优化的一体化解决方案。

VDM-7 measurement range and sensor types
VDM-7 基于与我们广受欢迎的 VPM-7 真空传感器相同的大气传感器技术,专为负载锁定应用而设计。气压传感器与压电绝对真空传感器相结合,提供相对于大气压力的压力信号,从而能够精确控制真空系统的排气周期。

支持在要求苛刻的应用中使用

对于涉及暴露于腐蚀性或腐蚀性气体的应用,DiCAP™ 可提供保形保护涂层,作为有效的屏障。

VDM-7 DiCAP™ 传感器系列提供由陶瓷或聚对二甲苯制成的可选保护层,以保护传感器材料免受腐蚀或氧化。

陶瓷具有出色的耐腐蚀性,是电容式隔膜真空计中真空传感器隔膜的可靠材料。

聚对二甲苯是一种独特的聚合物,具有卓越的耐腐蚀性和疏水性,特别适用于冻干和过氧化氢灭菌等医疗应用。

对于颗粒可能对真空计构成威胁的真空过程,DiCAP™ 传感器可配备保护挡板,以阻挡宏观颗粒。这些传感器与保护涂层选件相结合,可在具有挑战性的真空环境中可靠运行。

 

 

VDM-7 with baffle for protection
VDM-7 带保护挡板的传感器

模拟输出

提供多种模拟输出缩放选项,以模拟其他供应商的真空计和传感器。可选的辅助模拟输出可实现对全范围真空压力和相对于大气压力的压力信号的外部监控

模拟输出电压为外部读数或控制提供信号。VDM-7 标配 1VDC/十倍频程 mbar、Torr 或 Pascal 的电压输出信号。使用数字接口可以轻松更改模拟输出配置。

 

VDM-7 Analog Voltage Output
Connect digital to transducer

连接数字

RS-232 和 RS-485 串行接口可用于将压力和温度测量数据传输到外部设备。

数字接口支持诊断、预测性维护、服务、校准、设定点配置、模拟输出缩放以及实时真空压力测量的采集,以实现屏幕可视化。

 

可靠的设定点继电器控制

三个独立的固态开关继电器可用于控制外部设备,如泵、阀门和安全联锁电路。

与机电继电器不同,固态继电器具有更高的可靠性和更快的开关速度,具有无电弧触点,并且在开关过程中没有 EMI(电磁干扰)。

VDM-7 DiCAP™ ATM 继电器经久耐用,经过 UL 认证、CSA 认证和 EN/IEC 60950-1 认证,确保在控制关键真空过程和高循环应用方面具有高度信心。

 

VDM-7 Setpoint Relay Control
VDM-7 Vacuum transducer with atmospheric switch for loadlock control

其他供应商兼容性 

VDM-7 DiCAP™ ATM 传感器可与其他供应商的真空传感器和变送器配合使用,具有引脚兼容性、模拟电压、压力信号仿真和数字协议仿真功能。

这些仿真功能可实现传统微型皮拉尼传感器的快速、无缝性能升级,无需更改布线和系统设备软件即可过渡到下一代真空传感器。

VDM-7 DiCAP™ ATM 在取代传统真空计和传感器时,可在许多应用中提供增强的测量性能。

其他供应商的仿真还提供与其他供应商的控制器和显示单元的兼容性。

 

应用和市场

VDM-7 DiCAP™ ATM 专为高级真空过程的可靠测量和控制而设计,适用于工业和科学领域的广泛应用。VDM-7 配置有多种选择可供选择,以满足各种应用的不同要求。

 

PVD

PVD 涂层

VDM-5 具有可维修的挡板保护,可在物理气相沉积 (PVD) 涂层应用中使用并延长使用寿命。

Furnace Vacuum Applications

在真空热处理过程中测量和控制真空。可选的挡板和涂层保护可用于工业应用。

Space Simulation Applications

空间模拟

在模拟太空的恶劣环境时测量真空气体压力。

Industrial Vacuum Destillation

蒸馏

氢气储罐和供应管线中绝缘真空的测量和监测。

Semiconductor

半导体

半导体应用中的 CVD、PVD 和前级真空测量。提供陶瓷耐腐蚀传感器。

H2O2 Plasma sterilization applications

等离子体灭菌

利用双传感器设计和一体化测量解决方案,适用于 H2O2 灭菌应用。


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