VPM-5 SmartPirani™ 真空传感器基于尖端技术，可提供一流的性能，并将热导式真空计的可用真空测量范围延长 1-3 个数量级，从而建立了新的性能标准。
SmartPirani™ 基于尖端的 MEMS（微机电系统）传感器技术，结合了新颖的精密数字信号处理架构和先进的创新测量算法。这些元件与精密的自动化制造和校准过程相结合，打造出一款独特的产品，能够实现不折不扣的测量性能。
超宽测量范围
9 个数量级，从 1.0E-6 到 1333 mbar
耐腐蚀性
可选陶瓷或聚对二甲苯传感器保护
不受气体影响的测量
精密隔膜传感器，使用范围为 2 至 1333 mbar
无与伦比的性价比
为各种真空应用提供一流的性能
领先的真空测量技术
VPM-5 SmartPirani™ 传感器具有卓越的性能，通过将热导率真空计的可用测量范围扩大了 1 到 3 个数量级，为真空测量树立了新的标杆。
通过集成 MEMS 隔膜传感器，消除了热导率计粗真空范围内众所周知的气体依赖性，该传感器的精度性能可与更昂贵的电容压力计相媲美。测量与气体类型和浓度无关，增强了测量的信心，并确保更准确地控制真空系统的排气过程，这有助于防止真空系统过压。
针对具有挑战性的工业应用进行了优化
对于传感器可能暴露于腐蚀性或腐蚀性气体中的应用，SmartPirani™ 可提供保形保护涂层，作为有效的屏障。
SmartPirani™ 传感器系列现在提供可选的陶瓷或聚对二甲苯保护屏障，防止传感器材料腐蚀或氧化。陶瓷具有高度耐腐蚀性，是电容式隔膜真空计中真空传感器隔膜的成熟材料。聚对二甲苯是一种独特的聚合物，具有高度的耐腐蚀性和疏水性。聚对二甲苯屏障专为医疗应用而设计，包括冻干和灭菌。
在某些真空过程中，颗粒会损坏真空计。对于这些应用，SmartPirani™ 传感器配有保护挡板，作为对宏观颗粒的屏障。结合保护涂层选项，新型 SmartPirani™ 传感器专为恶劣的真空环境而设计。
测量和控制高级真空过程
VPM-5 SmartPirani™ 专为一流的真空气体压力测量和控制而设计。多个输出选项提供的不仅仅是压力测量信号。
用于工业控制系统的灵活模拟输出
模拟输出电压为外部读数或控制提供信号。VPM-5 标配 1VDC/十倍频程 mbar、Torr 或 Pascal 的电压输出信号。
此外，它还可以由用户配置或订购，预配置大量其他模拟输出选项，从而可以直接更换其他供应商的仪表。
启用与外部设备的数字连接
RS-232 和 RS-485 串行接口可用于将压力和温度测量数据传输到外部设备。
数字接口支持诊断、预测性维护、服务、校准、设定点配置、模拟输出缩放以及实时真空压力测量的采集，以实现屏幕可视化。
具有可配置设定点的可靠继电器控制
三个独立的固态开关继电器可用于泵、阀门、安全联锁电路和其他外部设备的外部控制。
与机电继电器相比，固态继电器提供卓越的可靠性和更快的开关时间，同时提供无电弧触点，并且在开关时不会产生 EMI（电磁干扰）。
SmartPirani™ 继电器经久耐用，经过 UL 认证、CSA 认证和 EN/IEC 60950-1 认证，在用于控制关键真空过程和高循环应用时具有最大的信心。
跨供应商兼容性，实现灵活集成
VPM-5 SmartPirani™ 传感器可与其他供应商的真空传感器和变送器配合使用，具有引脚兼容性、模拟电压、压力信号仿真和数字协议仿真功能。
这些仿真功能支持对传统皮拉尼线传感器、对流计和传统微型皮拉尼传感器进行快速、无缝升级，无需更改布线和系统设备软件即可过渡到下一代真空传感器。
VPM-5 SmartPirani™ 在取代传统真空计和传感器时，可在许多应用中降低成本并增强测量性能。
其他供应商的仿真还提供与其他供应商的控制器和显示单元的兼容性。
通过电源电压线连接数字
传统上，其他供应商配备 FCC68/RJ45/8P8C 和 Hirschmann 连接器的传感器不提供数字通信。新颖的 S4-Connect 接口可通过电源线上的数字通信访问 VPM-5 传感器的数字核心。
S4-Connect USB 通讯器可轻松配置传感器设置、诊断和校准调整。
可定制的参数以满足应用程序需求
VPM-5 传感器可以定制配置，以满足特定的应用要求，并开箱即用地适用于特定的设备安装。预配置选项的示例包括测量范围、真空压力单位、设定点配置和输出信号缩放。
定制产品将被分配一个唯一的零件编号，以便将来轻松直接地重新订购。
行业应用和市场焦点
VPM-5 SmartPirani™ 专为对高级真空过程进行可靠测量和控制而设计，适用于工业和科学领域的广泛应用。VPM-5 配置有多种选择，可满足各种应用的不同要求。
PVD 涂层
VPM-5 具有可维修的挡板保护，可在物理气相沉积 （PVD） 涂层应用中使用并延长使用寿命。
炉
在真空热处理过程中测量和控制真空。可选的挡板和涂层保护可用于工业应用。
空间模拟
在模拟太空的恶劣环境时测量真空气体压力。
氢气供应
氢气储罐和供应管线中绝缘真空的测量和监测。
半导体
半导体应用中的 CVD、PVD 和前级真空测量。提供陶瓷耐腐蚀传感器。
质谱仪
充分利用 VPM-5 在质谱仪仪器中提供的低压测量功能。
