代理 SENS4 VPM-15 带数字和模拟接口的宽量程真空压力传感器
SENS4 TriCAP™ 多传感器传感器
SENS4 带数字和模拟接口的宽量程真空压力传感器
SENS4 VPM-15 真空压力传感器
- 测量范围 1×10-6 至 1333 mbar（7.5×10-7 至 1000 Torr）
- 不受气体影响的测量范围为 5E-3 至 1333 mbar
- 采用一流的 MEMS 皮拉尼传感器实现低压测量能力
- 数字 RS-232 或 RS-485 接口和可编程电压输出。
- 三个固态设定点，实现可靠的过程控制
- 用户可通过 RS-232、RS-485 或 S4-Connect™ 进行编程
- 坚固的不锈钢法兰和外壳设计
- 引脚和输出与其他供应商的仪表兼容
多合一多传感器传感器解决方案
SENS4 VPM-15 TriCAP™ 传感器为各种真空应用提供一体化宽量程测量解决方案，树立了新标准。它与任何其他真空计的不同之处在于，它提供从 5.0E-3 到 1333 mbar 的整体成本效益和不受气体影响的测量，并结合热损失原理进行低至 1E-6 mbar 的测量。
集成的热损失 MEMS 皮拉尼传感器将测量范围扩展到 1E-6 mbar，并为电容压力计提供了一种新颖的自动零点调整功能，消除了传统电容隔膜表手动调零的常见需求。
重新思考真空测量
SENS4 VPM-15 TriCAP™ 是一款真正新颖的多传感器真空计，是传统皮拉尼真空计应用性能升级的选择，也是使用单独电容压力计和皮拉尼真空计的应用的成本优化的一体化解决方案。
可编程传感器设置和参数
SENS4用户可对传感器设置和参数进行编程，以控制真空系统和应用过程参数。
数字 RS-232 或 RS-485 串行接口可用于诊断、预测性维护、服务、校准、设定点配置、模拟输出缩放以及实时真空压力测量的采集，以实现屏幕可视化。
串行 USB 编程器与免费、直观的配置软件相结合，是用于传感器编程、实时测量和诊断的即插即用解决方案。
污染遏制
颗粒污染可能发生在真空炉和物理气相沉积系统等应用中。可选的挡板附件可以防止此类颗粒到达传感器元件，从而延长维护间隔和产品整体使用寿命的时间。
可以拆下挡板进行污染检查、清洁或更换。
通过可靠且强大的设定点继电器控制来控制真空压力
在许多真空应用中，需要准确可靠地控制多个真空压力参数。VPM-15 TriCAP™ 传感器具有三个独立的固态开关继电器，可配置为控制阀门、泵或其他过程设备。
与传统的机电继电器相比，固态继电器提供卓越的可靠性和更快的开关时间，同时提供无电弧触点，并且在切换触点时不会产生 EMI（电磁干扰）。VPM-15 TriCAP™ 控制继电器经久耐用，经过 UL 认证、CSA 认证和 EN/IEC 60950-1 认证，在用于控制关键真空过程和高循环应用时具有最大的信心。
对于需要大气切换功能的应用，如负载锁定真空系统，SENS4 VPM-17 TriCAP™ ATM 提供与SENS4 VPM-15 TriCAP™ 相同的性能、特性和功能，但具有额外的精密大气切换功能。
