丹麦SENS4 A/S VPM-7-10101232真空传感器,变送器
SENS4 VPM-7 SmartPirani™ ATM传感器是一款专为半导体负载锁紧、精密压力控制和其他真空应用设计的高性能传感器。它能够精确测量相对于大气环境压力的真空压力，适用于需要高精度控制的场景。
2. 主要特点
超宽测量范围：1×10⁻⁶至1333 mbar（7.5×10⁻⁷至1000 Torr），覆盖9个数量级。
多传感器集成：结合气压环境传感器、宽范围皮拉尼热损失传感器、绝对隔膜传感器和相对大气压信号，提供四种压力输出。
高精度：在不同压力范围内提供0.25%至25%的读数精度。
气体无关测量：隔膜传感器在2至1333 mbar范围内不受气体类型影响。
可编程输出：支持0-10 VDC模拟输出和RS-232/RS-485数字接口，可仿真其他品牌传感器。
固态继电器：三个独立继电器，用于控制排气、闸阀等，无机械磨损，寿命长。
RGB LED压力指示：通过颜色变化直观显示压力状态。
3. 技术参数
测量原理：
1×10⁻⁶至1.5 mbar：MEMS皮拉尼热导率
2至1333 mbar：MEMS压电阻隔膜
1.5至2 mbar：混合模式。
温度范围：工作环境-40至+50℃，介质温度-20至+50℃。
电源：12-30 VDC，功耗350 mW。
防护等级：IP4045。
认证：UL、CSA、EN/IEC 60950-1认证，符合RoHS指令。
4. 应用领域
半导体负载锁控制
PVD涂层
真空炉
分析仪器
空间环境模拟。
5. 可选配置
耐腐蚀版本（陶瓷膜片或派瑞林涂层）。
多种法兰和接口选项（如DN16KF、VCR4F）。
支持mbar、Torr、Pa等多种单位输出。
6. 优势
直接替换MKS 901P等传统传感器，兼容性强。
高可靠性，MTBF达1494年（13,092,170小时）。
支持定制化设置，包括压力单位、量程和继电器配置。
