丹麦SENS4,真空测量产品,VPM-7 SmartPirani™ ATM传感器,1E-6至1333毫巴测量范围,真空系统通风的精确压力控制,光膜传感器2至1333毫巴
PM-7 SmartPirani™ ATM传感器
VPM-7 SmartPirani™ ATM 换能器设计用于半导体负载锁定精密压力控制及其他真空应用，这些应用需要与大气环境压力的准确测量。
它提供同级最佳性能，测量范围更广，精度更高，测量周期更快，优于传统负载锁定传感器和其他负载锁定传感器解决方案。
SmartPirani™ ATM通过将热导率Pirani热损失真空计的可用测量范围延长了1至3个十年，建立了新的标准。
一体化多传感器换能器解决方案
VPM-7 是一款真正的多传感器传感器，具有四个压力输出：气压环境传感器、广范围热损失 Pirani 传感器、绝对光阑传感器以及相对于大气压力的信号，所有传感器协同工作，优化现代负载锁定真空室中的精确压力控制。光阑传感器提供从2到1333毫巴（1.5到1000托）的精密气体无关绝对读数。
负载锁是一种真空室，用于将设备（如半导体晶圆）从环境气压加载到真空处理室。载锁通常在大气压与将晶圆转移到处理室所需的适当真空水平之间循环。在负载锁内进行精确的压力控制对于防止环境空气和颗粒物污染至关重要，从而保护腔室和晶圆。
测量与控制负载锁过程
VPM-7 SmartPirani™ ATM专为实现顶尖的真空气体压力测量与控制而设计。多种输出选项不仅提供压力测量信号。
可靠的设定点继电器控制
三个独立的固态开关继电器允许外部控制负载锁压力循环，包括泵、阀门、安全互锁电路、PLC及其他设备。
与机电继电器不同，固态继电器提供更高的可靠性和更快的切换时间，且触点无弧，且在切换过程中不会产生电磁干扰（EMI）。
SmartPirani™ ATM继电器设计为耐用性，获得UL认证、CSA认证及EN/IEC 60950-1认证，确保在关键真空工艺和高周期应用中保持可靠性能。
模拟输出
模拟输出电压为外部监测或控制提供信号。VPM-7为mbar、Torr或Pascal提供每十年1伏直流的标准输出电压。
此外，用户可以配置或预配置多种模拟输出选项，实现无缝替换其他厂商的压力表。
数字接口
RS-232和RS-485串行接口便于将压力和温度测量数据传输到外部设备。
该数字界面支持诊断、预测性维护、维护、校准、设定点配置、模拟输出缩放以及实时获取真空压力测量数据，实现屏幕可视化。
耐腐蚀传感器
通常，负载锁装置干净且无腐蚀性气体。然而，可选的耐腐蚀传感器使VPM-7 SmartPirani™反坦克导弹能够在含有强性化学品或残留蚀刻气体的应用中使用。
陶瓷是一种高度耐腐蚀的材料，常用于电容隔膜真空传感器的隔膜。
二烯是一种独特的聚合物，以其强强的耐腐蚀性和疏水特性而闻名。
其他供应商可直接插入兼容性
VPM-7 SmartPirani™ ATM 换能器可作为传统负载锁止真空换能器的直接替换。
引脚兼容性、模拟电压压力信号仿真，以及与其他厂商的真空换能器和发射器的数字协议仿真。
这些仿真功能使传统线式Pirani换能器、对流计和传统微型Pirani换能器能够快速无缝升级，实现在不更换布线和系统设备软件的情况下，顺利过渡到下一代真空换能器。
VPM-7 SmartPirani™ ATM在替换传统负载锁定真空计和传感器时，将降低成本并提升测量性能。
自定义设置
VPM-7 SmartPirani™ ATM 换能器可定制以满足特定应用需求，使其能够立即在特定设备配置中使用。预配置选项包括测量范围、真空压力单元、设定点配置和输出信号缩放。
定制单元会被分配独特的零件编号，方便未来重新订购。
应用与市场
VPM-7 SmartPirani™ ATM设计用于先进的真空过程的可靠测量与控制，适用于负载锁系统的压力控制。VPM-7 提供了多种配置选择，以满足不同行业和应用的不同需求。
炉
在真空热处理过程中测量和控制真空。工业应用中可选的挡板和涂层保护。
