丹麦SENS4,真空测量产品,VDM-2 陶瓷隔膜,0.1 至 1333 mbar 测量范围,RS-232 或 RS-485 数字接口
VDM-2 陶瓷膜片传感器
0.1 至 1333 mbar 测量范围
使用陶瓷隔膜传感器进行气体无关型测量
耐腐蚀性
与多种酸和溶剂兼容
VDM-2 陶瓷隔膜真空传感器使用坚固且耐腐蚀的氧化铝隔膜提供高精度真空压力测量,该隔膜与施加的压力成比例弯曲。压阻式传感器元件的核心是确保在各种真空应用中进行准确稳定的测量。
与依赖充油传感器元件的传统不锈钢隔膜压电真空传感器不同,VDM-2 采用清洁、干燥的陶瓷压电隔膜传感器,完全消除了敏感真空系统中油污染的风险。
VDM-2 专为多功能性而设计,可测量气体压力,不受气体类型或成分的影响,使其成为半导体加工、分析仪器、工业真空系统等应用的理想解决方案。
电容式隔膜真空计的替代品
电容式隔膜真空计用于许多真空应用中,用于高级过程的测量和控制。VDM-2 传感器是传统 1000 Torr/mbar 满量程电容膜片真空计 (CDG) 的一种经济高效且紧凑的替代品。

专为恶劣的真空环境而设计
VDM-2 真空传感器专为存在腐蚀性气体、腐蚀性化学品或恶劣工艺条件的苛刻真空应用而设计。其陶瓷氧化铝隔膜对各种溶剂、酸和反应性化合物具有出色的耐腐蚀性,确保在具有挑战性的环境中具有长期可靠性。
为了获得更好的保护,VDM-2 可选配聚对二甲苯涂层——一种高度耐腐蚀和疏水性的聚合物屏障。聚对二甲苯广泛用于医疗应用,包括过氧化氢等离子体灭菌和冻干,在这些应用中,耐用性和抗污染性至关重要。
在易受颗粒污染的真空过程中,可选的保护挡板可防止颗粒沉积在传感器隔膜上,从而保证测量精度和传感器使用寿命。
氧化铝传感器元件专为弹性而设计,可承受高达 2 bar 绝对压力 (29 psia) 的突然通风和超压条件,使其成为工业、制药和半导体环境中高应力真空系统的理想选择。

灵活的模拟电压输出,用于压力读数和控制
VDM-2 真空传感器具有高分辨率模拟电压输出,可直接连接到外部显示器、数据采集系统、PLC 或过程控制设备,以进行实时真空压力监测。
VDM-2 与各种系统兼容,提供多个预配置的模拟输出曲线,允许无缝替换不同制造商的真空计,从而最大限度地减少设置时间和集成工作量。
对于定制应用,模拟输出也可以由用户配置任意线性缩放,从而提供最大的灵活性来匹配特定的系统要求或控制策略。

带 RS-232 和 RS-485 的数字接口,可实现可靠的真空数据传输
VDM-2 真空传感器具有集成的 RS-232 和 RS-485 数字接口,可确保在长距离电缆上可靠、无噪声地传输真空测量数据,而不会造成信号衰减或受到电噪声的干扰。
该数字通信接口支持高级功能,如实时压力监测、诊断、预测性维护、校准、服务状态、设定点配置和模拟输出缩放。这些功能可以增强系统控制并简化与现代真空系统的集成。
即使模拟输出配置为有限范围(例如,100 Torr 满量程),数字输出仍可继续提供高达 1333 mbar (1000 Torr) 的准确全范围真空压力读数,为监测和控制提供最大的灵活性。

用于高级真空系统控制的可靠固态继电器
VDM-2 真空传感器配有三个独立的固态开关继电器,用于直接控制真空泵、阀门和安全联锁电路等外部设备。这些集成输出可在要求苛刻的真空控制应用中实现无缝自动化和实时系统响应。
与传统的机电继电器相比,固态继电器可提供更快的开关速度、更高的可靠性和无电弧运行,同时消除开关过程中的电磁干扰 (EMI),非常适合精密和噪声敏感环境。
VDM-2 的继电器经久耐用,经过 UL 认证、CSA 认证,并通过了 EN/IEC 60950-1 标准认证,确保在关键真空过程和高循环工业应用中的长期性能和安全性。


与其他供应商的真空计兼容 – 直接替换真空传感器
Sens4 的直接替换真空传感器经过精心设计,可与其他供应商的真空计完全兼容,具有连接器引脚兼容性,无需重新布线即可无缝安装。
这些高性能传感器模拟了领先制造商的等效真空计型号的模拟输出缩放和测量范围,确保整个系统的性能准确一致。
此外,Sens4 真空传感器支持数字协议仿真,无需更改通信软件即可与现有真空控制器、电源和显示装置实现即插即用集成。这使它们成为需要互作性的真空系统升级、更换和 OEM 集成的理想选择。
定制的真空传感器设置 – 为您的应用量身定制
VDM-2 真空传感器可在工厂进行配置,以满足您的特定应用要求,确保最佳性能和开箱即用的无缝集成。自定义配置选项包括:
- 测量范围
- 真空压力单位(例如 mbar、Torr、Pa)
- 设定点配置
- 输出信号缩放
这些预配置的传感器非常适合寻求即插即用安装且设置时间最短的 OEM 和系统集成商。
每个定制的 VDM-2 装置都分配有一个唯一的零件编号,从而简化了未来的重新订购并确保了整个真空系统的一致性。
应用和市场
VDM-2 陶瓷隔膜真空传感器专为在苛刻的工业和科学环境中进行高精度真空测量和控制而设计。它专为长期稳定性和可靠性而设计,支持多个领域的广泛真空应用。
典型应用包括:
- 半导体制造
- 实验室研究和仪器
- 工业真空系统
- 分析和工艺设备
- 泄漏检测和质量控制
为了满足不同的性能和集成需求,我们还提供了广泛的 VDM-2 真空传感器配置,从而可以轻松找到适合您特定过程要求的解决方案