DM-2 陶瓷隔膜

VDM-2 陶瓷振膜换能器

VDM-2陶瓷隔膜真空换能器采用坚固且耐腐蚀的氧化铝隔膜，能够根据施加压力进行比例的弯曲，实现高精度的真空压力测量。压电阻传感器元件的核心确保在广泛的真空应用中实现准确且稳定的测量。

与依赖充油传感器元件的传统不锈钢隔膜压电真空换能器不同，VDM-2采用清洁干燥的陶瓷压电隔膜传感器，完全消除敏感真空系统中油污污染的风险。

VDM-2设计兼具多功能性，能够独立于气体类型或成分测量气体压力，是半导体工艺、分析仪器、工业真空系统等应用的理想解决方案

电容隔膜计被广泛应用于许多真空应用中，用于先进工艺的测量和控制。VDM-2换能器是传统1000托/毫巴全尺寸电容隔膜计（CDGs）的经济且紧凑的替代方案。

VDM-2真空换能器专为要求高的真空应用设计，这些应用涉及腐蚀性气体、侵蚀性化学品或恶劣工艺条件。其陶瓷氧化铝隔膜对多种溶剂、酸类和反应性化合物具有卓越的耐腐蚀性，确保在恶劣环境中的长期可靠性。

为了获得更强的保护，VDM-2还可选配二甲苯涂层——一种高度耐腐蚀且疏水的聚合物屏障。丙烯广泛应用于医疗领域，包括过氧化氢等离子灭菌和冻干，这些领域对耐久性和抗污染性至关重要。

在易受颗粒污染的真空过程中，可选的保护挡板可防止颗粒沉积在传感器隔膜上，保障测量精度和传感器寿命。

铝氧化物传感器元件设计为耐久性，能够承受最高2巴绝对压力（29 psia）的突发通风和超压条件，非常适合工业、制药和半导体环境中的高应力真空系统。

VDM-2真空换能器具备高分辨率模拟电压输出，可直接连接外部显示器、数据采集系统、PLC或过程控制设备，实现实时真空压力监测。

VDM-2兼容多种系统，提供多条预配置的模拟输出曲线，实现无缝更换不同厂商真空计，最大限度地缩短安装时间和集成工作。

对于定制应用，模拟输出也可以由用户自定义，采用任意线性缩放，提供最大灵活性以匹配特定系统需求或控制策略。