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VPM-4 SMARTPIRANI™ LT 真空传感器
1×10-6 至 13 毫巴 / 7.5×10-7 至 10 托 / 1×10-4 至 1.333×10+3 帕
下一代 MEMS 皮拉尼传感器
- 测量范围为 1×10-6 至 13.33 mbar（7.5×10-7 至 10 Torr）
- 超宽范围高性能 MEMS 皮拉尼传感器
- 先进的创新数字信号处理
- 可安装在任何方向，而不会影响性能。
- 可编程电压输出信号，可与其他供应商仿真
- 数字 RS-232 或 RS-485 接口
- 低压真空开关
- 用于真空过程控制的三个固态设定点
- 10 bar （145 psi） 的高过压容限
- 坚固、紧凑的不锈钢法兰和外壳设计
可编程传感器设置和参数
传感器设置和参数可由用户通过 PC 或智能手机通过数字通信接口进行编程。带有 RS-232 或 RS-485 串行接口的传感器可以通过串行接口或 S4-Connect™ 接口进行配置。数字界面支持诊断、预测性维护、服务、校准、设定点配置、模拟输出缩放和实时真空压力测量采集，以实现屏幕可视化。S4-Connect™ USB 编程器与免费、直观的配置软件相结合，是用于传感器编程、实时测量和诊断的即插即用解决方案。
挡板选项可防止污染
SmartPirani™ 传感器系列配备专为 PVD 应用设计的用户可清洁集成颗粒挡板系统。挡板系统设计用于阻挡颗粒，同时确保足够高的真空气体电导率并防止颗粒堵塞。创新的挡板功能可以增加维修间隔时间并增加设备正常运行时间。此外，在某些 PVD 应用中，SmartPirani™ 的扩展范围消除了对冷阴极真空计进行极限压力验证的需求。
通过可靠且强大的设定点继电器控制来控制真空压力
SmartPirani™ LT 真空传感器配有三个独立的固态开关继电器，可用于泵、阀门、安全联锁电路和其他外部设备的外部控制。基本控制使用具有可编程设定点和滞后值的开/关调节。每个固态继电器都提供常闭和常开触点。
与机电继电器相比，固态继电器具有卓越的可靠性和更快的开关时间，同时提供无电弧触点，并且在切换触点时不会产生 EMI（电磁干扰）。
SmartPirani™ 继电器经久耐用，经过 UL 认证、CSA 认证和 EN/IEC 60950-1 认证，在用于控制关键真空过程和高循环应用时具有最大的信心。
对于需要大气开关功能的应用，如负载锁定真空系统，VPM-7 SmartPirani™ ATM 提供与 VPM-5 相同的性能、特性和功能，但具有额外的精密大气开关功能。
用于外部读数的模拟电压输出
尽管 SmartPirani™ 真空传感器具有先进的功能和智能数字技术，但传感器可以作为独立的模拟设备运行，提供电压并返回测量信号。
模拟电压输出可通过 S4-Connect™ 或 RS-232/RS-485 接口配置为 0-10 VDC 范围内的任何任意刻度。模拟输出缩放功能可在有限的压力范围内放大信号。
此外，还提供多种模拟输出缩放选项，以模拟其他供应商的真空计和传感器。
自定义设置
SmartPirani™ 真空传感器可以定制配置，以满足特定的应用要求。预配置选项的示例包括测量范围、真空压力单位、设定点配置和输出信号缩放。定制产品将被分配一个唯一的零件编号，以便将来轻松简单地重新订购。
