丹麦 SENS4 VPM-5 SMARTPIRANI™ 宽量程真空压力传感器
下一代MEMS PIRANI换能器
- 测量范围为 1×10-6 至 1333 mbar（7.5×10-7 至 1000 Torr）
- 超宽范围高性能MEMS Pirani传感器
- 无可比拟的性价比
- 2 至 1333 mbar 的精密气体独立测量
- 可安装在任何方向，不影响性能。
- 可编程电压输出信号，支持其他供应商仿真
- 数字 RS-232 或 RS-485 接口
- 用于真空过程控制的三个固态设定点
- 可选陶瓷或聚对二甲苯传感器保护，适用于腐蚀性应用
- MKS 925 MicroPirani™ 和 910 的直接替代品
- 坚固、紧凑的不锈钢法兰和外壳设计
可编程传感器设置和参数
用户可通过创新的 S4-Connect™ 数字通信接口从 PC 或智能手机对传感器设置和参数进行编程。带有 RS-232 或 RS-485 串行接口的传感器可以通过串行接口或 S4-Connect™ 接口进行配置。数字接口支持诊断、预测性维护、维修、校准、设定值配置、模拟输出缩放和实时真空压力测量值的采集，以便在屏幕上显示。S4-Connect™ USB 编程器与免费、直观的配置软件相结合，是用于传感器编程、实时测量和诊断的即插即用解决方案。
无可比拟的范围和精度
与其他供应商的传统导线皮拉尼和MEMS 皮拉尼传感器相比，SmartPirani™的基本精度和动态范围更胜一筹。在某些应用中，超宽的测量范围消除了对额外昂贵的高真空电离计的需求。
支持在要求苛刻的应用中使用
对于传感器可能暴露于腐蚀性或腐蚀性气体的应用，SmartPirani™ 可提供保形保护涂层，可作为有效的屏障。
根据应用的不同，SmartPirani™传感器系列现在可提供可选的陶瓷或聚对二甲苯保护层，以防止传感器材料的腐蚀或氧化。
陶瓷具有很强的耐腐蚀性，是电容膜片中真空传感器膜片的成熟材料。
聚对二甲苯是一种独特的聚合物，具有高度的耐腐蚀性和疏水性。聚对二甲苯屏障专为医疗应用而设计，包括但不限于冻干和灭菌。
在某些真空工艺中，微粒会损坏真空计，对于这些应用，SmartPirani™ 传感器配有保护挡板，可作为宏观颗粒的屏障。
结合保护涂层选项，新型 SmartPirani™ 传感器适用于恶劣的真空环境。
SMARTPIRANI™真空传感器的应用
- 质谱仪
- 扫描电子显微镜
- 炉膛热处理
- 玻璃、光学、工具、包装、装饰的PVD涂层
- 制冷制造与服务
- 半导体加工设备
- 真空泵服务
