丹麦 SENS4 VPM-5 SMARTPIRANI™ 宽量程真空压力传感器

可编程传感器设置和参数

用户可通过创新的 S4-Connect™ 数字通信接口从 PC 或智能手机对传感器设置和参数进行编程。带有 RS-232 或 RS-485 串行接口的传感器可以通过串行接口或 S4-Connect™ 接口进行配置。数字接口支持诊断、预测性维护、维修、校准、设定值配置、模拟输出缩放和实时真空压力测量值的采集，以便在屏幕上显示。S4-Connect™ USB 编程器与免费、直观的配置软件相结合，是用于传感器编程、实时测量和诊断的即插即用解决方案。

支持在要求苛刻的应用中使用

对于传感器可能暴露于腐蚀性或腐蚀性气体的应用，SmartPirani™ 可提供保形保护涂层，可作为有效的屏障。

根据应用的不同，SmartPirani™传感器系列现在可提供可选的陶瓷或聚对二甲苯保护层，以防止传感器材料的腐蚀或氧化。

陶瓷具有很强的耐腐蚀性，是电容膜片中真空传感器膜片的成熟材料。

聚对二甲苯是一种独特的聚合物，具有高度的耐腐蚀性和疏水性。聚对二甲苯屏障专为医疗应用而设计，包括但不限于冻干和灭菌。

在某些真空工艺中，微粒会损坏真空计，对于这些应用，SmartPirani™ 传感器配有保护挡板，可作为宏观颗粒的屏障。

结合保护涂层选项，新型 SmartPirani™ 传感器适用于恶劣的真空环境。

通过可靠而稳健的设定点继电器控制来控制真空压力

SmartPirani™ 真空传感器配有三个独立的固态开关继电器，可用于泵、阀门、安全联锁电路和其他外部设备的外部控制。基本控制使用具有可编程设定点和迟滞值的开/关调节。每个固态继电器都提供常闭和常开触点。

与机电继电器相比，固态继电器具有更高的可靠性和更快的开关时间，同时提供无电弧触点，并且在开关触点时不会产生 EMI（电磁干扰）。

SmartPirani™ 继电器经久耐用，已通过 UL 认证、CSA 认证和 EN/IEC 60950-1 认证，在用于控制关键真空过程和高循环应用时具有最大的信心。

对于需要大气开关功能的应用，如负载锁真空系统，VPM-7 SmartPirani™ ATM 提供与 VPM-5 相同的性能、特性和功能，但具有额外的精密大气开关功能。

用于外部读数的模拟电压输出

尽管SmartPirani™真空传感器具有先进的功能和智能技术，但该传感器可以作为独立的模拟设备运行，提供电压和返回测量信号。模拟电压输出可通过 S4-Connect™ 或 RS-232/RS-485 接口配置为 0-10 VDC 范围内的任何任意缩放。模拟输出缩放功能可在有限的压力范围内放大信号。

此外，还提供多种模拟输出缩放选项，以模拟其他供应商的真空计和传感器。

自定义设置

SmartPirani™真空传感器可以定制配置，以满足特定的应用要求。预配置选项的示例包括测量范围、真空压力单位、设定值配置和输出信号缩放。定制产品将被分配一个唯一的零件编号，以便将来轻松简单地重新订购。

SMARTPIRANI™真空传感器的应用

• 质谱仪
• 扫描电子显微镜
• 炉膛热处理
• 玻璃、光学、工具、包装、装饰的PVD涂层
• 制冷制造与服务
• 半导体加工设备
• 真空泵服务