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丹麦 SENS4 VPM-5 真空压力传感器,SMARTPIRANI™ 宽量程皮拉尼传感器

李玲17317355928（微信同号）

丹麦 SENS4 VPM-5 真空压力传感器,SMARTPIRANI™ 宽量程皮拉尼传感器

Sens4 开发、制造和销售用于工业和科学应用的真空、压力和温度测量和控制的可编程传感器和变送器。

VPM-5 SmartPirani™ 真空传感器基于尖端技术，提供一流的性能，并通过将热导率真空计的可用真空测量范围延长 1-3 个数量级，建立了新的性能标准。

SMARTPIRANI™ 宽量程皮拉尼传感器

可编程精密真空压力传感器，带数字和模拟接口

Sens4 VPM-5 真空压力传感器

  • 测量范围 1×10-6 至 1333 mbar（7.5×10-7 至 1000 Torr）
  • 超宽量程和高性能同类最佳 MEMS 皮拉尼传感器
  • 精密气体非依赖型隔膜传感器，压力范围为 2 至 1333 mbar。
  • 可编程电压输出和数字 RS-232 或 RS-485 接口
  • 用于过程控制的三个固态设定点
  • 用户可通过 RS-232、RS-485 或 S4-Connect™ 进行编程
  • 坚固的不锈钢法兰和外壳设计
  • 可选耐腐蚀传感器
  • 引脚和输出与其他供应商的仪表兼容

下一代MEMS PIRANI换能器

  • 测量范围为 1×10-6 至 1333 mbar（7.5×10-7 至 1000 Torr）
  • 超宽范围高性能MEMS Pirani传感器
  • 无可比拟的性价比
  • 2 至 1333 mbar 的精密气体独立测量
  • 可安装在任何方向，不影响性能。
  • 可编程电压输出信号，支持其他供应商仿真
  • 数字 RS-232 或 RS-485 接口
  • 用于真空过程控制的三个固态设定点
  • 可选陶瓷或聚对二甲苯传感器保护，适用于腐蚀性应用
  • MKS 925 MicroPirani™ 和 910 的直接替代品
  • 坚固、紧凑的不锈钢法兰和外壳设计

Sens4 SmartPirani™ 真空测量传感器采用尖端的 MEMS（微机电系统）传感器技术，结合了新颖的精密数字信号处理架构和只有 Sens4 才能提供的先进创新测量算法。结合精密的自动化制造和校准过程，这款独特的产品可提供不折不扣的测量性能。

SmartPirani 测量范围（mbar）

通过集成MEMS膜片传感器，消除了热导率计在粗真空范围内众所周知的气体依赖性，该传感器的精度性能可与更昂贵的电容压力计相媲美。此功能可确保更精确地控制真空系统排气过程，并防止真空系统过度加压。

无可比拟的范围和精度

Sens4与其他供应商的传统导线皮拉尼和MEMS 皮拉尼传感器相比，SmartPirani™的基本精度和动态范围更胜一筹。在某些应用中，超宽的测量范围消除了对额外昂贵的高真空电离计的需求。

SmartPirani 范围和精度比较

可编程传感器设置和参数

Sens4 用户可通过创新的 S4-Connect™ 数字通信接口从 PC 或智能手机对传感器设置和参数进行编程。带有 RS-232 或 RS-485 串行接口的传感器可以通过串行接口或 S4-Connect™ 接口进行配置。数字接口支持诊断、预测性维护、维修、校准、设定值配置、模拟输出缩放和实时真空压力测量值的采集，以便在屏幕上显示。S4-Connect™ USB 编程器与免费、直观的配置软件相结合，是用于传感器编程、实时测量和诊断的即插即用解决方案。

通过可靠而稳健的设定点继电器控制来控制真空压力

Sens4 SmartPirani™ 真空传感器配有三个独立的固态开关继电器，可用于泵、阀门、安全联锁电路和其他外部设备的外部控制。基本控制使用具有可编程设定点和迟滞值的开/关调节。每个固态继电器都提供常闭和常开触点。

与机电继电器相比，固态继电器具有更高的可靠性和更快的开关时间，同时提供无电弧触点，并且在开关触点时不会产生 EMI（电磁干扰）。

Sens4 SmartPirani™ 继电器经久耐用，已通过 UL 认证、CSA 认证和 EN/IEC 60950-1 认证，在用于控制关键真空过程和高循环应用时具有最大的信心。

对于需要大气开关功能的应用，如负载锁真空系统，VPM-7 SmartPirani™ ATM 提供与 VPM-5 相同的性能、特性和功能，但具有额外的精密大气开关功能。

用于外部读数的模拟电压输出

Sens4 SmartPirani™真空传感器具有好的的功能和智能技术，但该传感器可以作为独立的模拟设备运行，提供电压和返回测量信号。模拟电压输出可通过 S4-Connect™ 或 RS-232/RS-485 接口配置为 0-10 VDC 范围内的任何任意缩放。模拟输出缩放功能可在有限的压力范围内放大信号。

此外，还提供多种模拟输出缩放选项，以模拟其他供应商的真空计和传感器。

自定义设置

Sens4 SmartPirani™真空传感器可以定制配置，以满足特定的应用要求。预配置选项的示例包括测量范围、真空压力单位、设定值配置和输出信号缩放。定制产品将被分配一个唯一的零件编号，以便将来轻松简单地重新订购。

Sens4 SMARTPIRANI™真空传感器的应用

  • 质谱仪
  • 扫描电子显微镜
  • 炉膛热处理
  • 玻璃、光学、工具、包装、装饰的PVD涂层
  • 制冷制造与服务
  • 半导体加工设备
  • 真空泵服务

SENS4 VPM-5 真空压力传感器guige

Specifications

Measuring range

1×10-6 to 1333 mbar (7.5×10-7 to 1000 Torr)

Measuring principle 1×10-6 to 1.5 mbar

MEMS Pirani thermal conductivity (Heat-loss)

Measuring principle 2 to 1333 mbar

MEMS piezo resistive diaphragm

Measuring principle 1.5 to 2 mbar

Blended MEMS Pirani / piezo reading

Accuracy 1×10-5 to 9.99×10-5

25% of reading

Accuracy 1×10-4 to 7.99 mbar

5 % of reading

Accuracy 8.00 to 99.9 mbar

1% of reading

Accuracy 100 to 800 mbar

0.5% of reading

Accuracy 800 to 1099 mbar

0.25 % of reading

Accuracy 1100 to 1333 mbar

0.5% of reading

Maximum measuring resolution

1.0E-7 mbar

Output signal 1

1 VDC / decade (0.5VDC at 1.0E-6 mbar)

Output signal 2 (MKS 901P, 910, 925 Emulation)

1 VDC / decade (1.0VDC at 1.0E-5 Torr)

Output signal 3 (MKS GP 275 Convectron®)

0.375 to 5.659 VDC

Output signal 4 (MKS 523)

0.5 VDC / decade (MKS 523)

Output signal 5 (Inficon PSG500, PSG502, PSG510, PSG512 )

1.9 – 10 VDC (Inficon PSG55x, Leybold TTR91)

Output signal 6 (Leybold TTR91, TTR96, TTR101)

1.5 – 8.5 VDC (Pfeiffer TPR260/27x/28x)

Output signal 7 (MKS GP 275 Convectron®)

1.9 – 9.1 VDC

Output signal 8 (MKS GP 390 MicroIon)

0.5 VDC / decade

Output Signal 9 (MKS 971, 972, 974B)

0.5 VDC / decade (MKS 971B, 972B, 974B)

Output signal 10 (Inficon Gemini output 1)

1 VDC / decade

Output signal 11 (Inficon Gemini output 2)

1.33  VDC / decade

Output signal 12 (Inficon Gemini output 3)

0.6 VDC / decade

Output signal resolution

16 bit

Solid state relay contact rating (optional)

250 mA, 50 VDC / VAC peak

Environment conditions

Operating ambient temperature

-40 to +50 °C (-40 to +122 °F)

Media temperature

-20 to +50 °C (-58 to 122 °F)

Storage ambient temperature

-40 to +125 °C  (-40 to +257 °F)

Maximum media pressure

10 bar

Mounting position

Arbitrary

Protection rating, EN 60529/A2:2013

IP40

Humidity, IEC 68-2-38

98%, non-condensing

Power supply

Supply voltage

12-30 VDC

Power consumption

350 mW (Max)

Reverse polarity protection

Yes

Overvoltage protection

Yes

Internal fuse

100 mA (Thermal recoverable)

Materials

Vacuum process flange

316 stainless steel

Enclosure

316 stainless steel / Aluminum

Vacuum exposed materials (media wetted)

316 Stainless steel, Kovar, glass, silicon, nickel, aluminum, SiO2, Si3N4, gold, Viton®, low out-gassing epoxy resin, solder, RO4305

Vacuum exposed materials (media wetted) Ceramic protected

316 Stainless steel, Viton®, Aluminum oxide ceramic (AI2O3)

Vacuum exposed materials (media wetted) Parylene protected

316 Stainless steel, Viton®, Parylene

Process leak tightness

<1·10-9 mbar·l/s

Approvals

CE

EMC directive 2014/30/EU

RoHS compliance

Directive EU 2015/863


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