丹麦 SENS4 VPM-4 SMARTPIRANI™ LT 真空传感器
VPM-4 SMARTPIRANI™ LT 真空传感器
1×10-6 至 13 毫巴 / 7.5×10-7 至 10 托 / 1×10-4 至 1.333×10+3 帕
下一代 MEMS 皮拉尼传感器
- 测量范围为 1×10-6 至 13.33 mbar（7.5×10-7 至 10 Torr）
- 超宽范围高性能 MEMS 皮拉尼传感器
- 先进的创新数字信号处理
- 可安装在任何方向，而不会影响性能。
- 可编程电压输出信号，可与其他供应商仿真
- 数字 RS-232 或 RS-485 接口
- 低压真空开关
- 用于真空过程控制的三个固态设定点
- 10 bar （145 psi） 的高过压容限
- 坚固、紧凑的不锈钢法兰和外壳设计
SENS4 VPM-4 SmartPirani™ LT 传感器基于创纪录的 VPM-5 SmartPirani™ 传感器中使用的热损失传感器技术，提供 13 至 1E-6 mbar（10 至 7.5E-7 torr）的测量范围。
传感器技术通过将热导式真空计的可用测量范围延长了 1-3 个数量级，建立了新的标准。
SENS4 SmartPirani™ 基于尖端的 MEMS（微机电系统）传感器技术，结合了新颖的精密数字信号处理架构和只有 Sens4 才能提供的先进创新测量算法。
SENS4 SmartPirani™ LT 扩展的测量范围使其能够在传统上由热阴极电离计或冷阴极电离计主导的范围内使用。SmartPirani LT 针对低量程测量性能进行了优化，测量上限可达 13 mbar （10 Torr）。
SENS4 SmartPirani™ 传感器系列还包括全系列 VPM-5 SmartPirani™，可提供 2 至 1333 mbar 的气体独立测量，以及 VPM-7 SmartPirani™ ATM，此外还提供大气开关功能。
可编程传感器设置和参数
传感器设置和参数可由用户通过 PC 或智能手机通过数字通信接口进行编程。带有 RS-232 或 RS-485 串行接口的传感器可以通过串行接口或 S4-Connect™ 接口进行配置。数字界面支持诊断、预测性维护、服务、校准、设定点配置、模拟输出缩放和实时真空压力测量采集，以实现屏幕可视化。S4-Connect™ USB 编程器与免费、直观的配置软件相结合，是用于传感器编程、实时测量和诊断的即插即用解决方案。
