VPM-4 SmartPirani™ Lite 真空传感器基于尖端技术，可提供一流的性能，并将热导式真空计的可用真空测量范围延长 1-3 个数量级，从而建立了新的性能标准。
SmartPirani™ 采用先进的 MEMS（微机电系统）传感器技术，并集成了最先进的数字信号处理架构和创新的测量算法。这些元件与精确的自动化制造和校准相结合，创造了真正独特的产品，可提供无与伦比的测量性能。SmartPirani™ Lite 专为真空开关功能而设计，测量上限为 10 mbar。对于高达大气压及以上的全范围测量，VPM-5 SmartPirani™ 传感器是您的不二之选。
MEMS 皮拉尼传感器
宽范围 MEMS 皮拉尼传感器，用于 1.0E-6 至 10 mbar 的测量
耐腐蚀性
可选陶瓷或聚对二甲苯传感器保护
数字接口
用于系统集成的 RS-232 和 RS-485 数字接口
过程控制
用于真空开关功能的可编程设定点继电器
领先的真空测量技术
VPM-4 SmartPirani™ Lite 传感器提供卓越的性能，通过将热导式真空计的可用测量范围扩展到 1E-6 十进制，为真空测量树立了新的标杆。
SmartPirani™ 传感器系列还包括全量程 VPM-5 SmartPirani™，可提供 2 至 1333 mbar 的气体无关型测量，以及 VPM-7 SmartPirani™ ATM，它额外提供大气开关功能。
支持在要求苛刻的应用中使用
对于暴露于腐蚀性或腐蚀性气体的应用，SmartPirani™ 可提供保形保护涂层，作为有效的防护罩。
SmartPirani™ 传感器系列现在提供由陶瓷或聚对二甲苯制成的可选保护屏障，以防止传感器材料的腐蚀和氧化。陶瓷是一种高度耐腐蚀的材料，广泛用于电容式隔膜表的真空传感器隔膜。聚对二甲苯是一种独特的聚合物，具有卓越的耐腐蚀性和疏水性，使其成为冻干和灭菌等医疗应用的理想选择。
在颗粒可能损坏真空计的真空过程中，SmartPirani™ 传感器配有保护挡板，以阻挡宏观颗粒。结合保护涂层选项，这些新型 SmartPirani™ 传感器经过专门设计，可在具有挑战性的真空环境中可靠运行。
测量和控制高级真空过程
VPM-5 SmartPirani™ 专为一流的真空气体压力测量和控制而设计。多个输出选项提供的不仅仅是压力测量信号。
模拟输出
模拟输出电压为外部读数或控制提供信号。VPM-4 标配 1VDC/十倍频程 mbar、Torr 或 Pascal 的电压输出信号。
此外，它还可以由用户配置或订购，预配置大量其他模拟输出选项，从而可以直接更换其他供应商的仪表。
连接数字
RS-232 和 RS-485 串行接口可用于将压力和温度测量数据传输到外部设备。
数字接口支持诊断、预测性维护、服务、校准、设定点配置、模拟输出缩放以及实时真空压力测量的采集，以实现屏幕可视化。
可靠的设定点继电器控制
三个独立的固态开关继电器可用于泵、阀门、安全联锁电路和其他外部设备的外部控制。
与机电继电器相比，固态继电器提供卓越的可靠性和更快的开关时间，同时提供无电弧触点，并且在开关时不会产生 EMI（电磁干扰）。
SmartPirani™ 继电器经久耐用，经过 UL 认证、CSA 认证和 EN/IEC 60950-1 认证，在用于控制关键真空过程和高循环应用时具有最大的信心。
其他供应商兼容性
VPM-4 SmartPirani™ 传感器提供引脚兼容性、模拟电压、压力信号仿真和数字协议仿真，可与其他制造商的真空传感器和变送器无缝集成。
这些仿真功能有助于轻松升级传统的皮拉尼线传感器、对流计和传统的微型皮拉尼传感器，使用户能够过渡到下一代真空技术，而无需修改布线或系统软件。
VPM-4 SmartPirani™ 通过取代传统的真空计和传感器，在各种应用中节省了成本并提高了测量性能。
此外，仿真功能可确保与其他供应商的控制器和显示单元兼容。
通过电源电压线连接数字
传统上，其他供应商配备 FCC68/RJ45/8P8C 和 Hirschmann 连接器的传感器不提供数字通信。新颖的 S4-Connect 接口可通过电源线上的数字通信访问 VPM-4 传感器的数字核心。
S4-Connect USB 通讯器可轻松配置传感器设置、诊断和校准调整。
自定义设置
VPM-4 传感器可根据特定应用需求提供定制配置，确保无缝集成并在安装后立即发挥作用。预配置选项包括测量范围、真空压力单位、设定点设置和输出信号缩放。
每个定制产品都分配有一个唯一的零件编号，从而简化了未来的重新订购并确保了一致性。
应用和市场
VPM-4 SmartPirani™ 专为在高级真空过程中进行精确测量和控制而设计，是各种工业和科学应用的理想选择。此外，VPM-4 系列提供多种配置，以满足各种特定应用的需求。
氢气供应
氢气储罐和供应管线中绝缘真空的测量和监测。
半导体
半导体应用中的 CVD、PVD 和前级真空测量。提供陶瓷耐腐蚀传感器。
质谱仪
充分利用 VPM-4 在质谱仪仪器中提供的低压测量功能。
PVD 涂层
VPM-5 具有可维修的挡板保护，可在物理气相沉积 （PVD） 涂层应用中使用并延长使用寿命。
前线
VPM-4 适用于前线真空的测量监测。设定点继电器可以编程为向外部设备提供控制信号。
空间模拟
在模拟太空的恶劣环境时测量真空气体压力。
氢气供应
氢气储罐和供应管线中绝缘真空的测
