MEMS Pirani和压电传感器
宽范围 MEMS 皮拉尼传感器，可测量 1.0E-6 至 1333 mbar
大气开关
相对于环境压力的额外测量
模拟和数字接口
UART、RS-485 数字接口、模拟电压输出和设定点
高级别集成
用于直接集成和连接客户设备
领先的真空测量技术
VPi-7 iVacSens™ 采用创纪录的 MEMS 热损失皮拉尼传感器和压电隔膜传感器，能够测量 1.0E-6 mbar 至 1333 mbar（7.5E-6 至 1000 Torr）的压力。
精密压电隔膜传感器消除了使用皮拉尼真空计时常见的 2 – 1333 mbar 范围内的测量误差，这些误差可能会受到气体类型或成分变化的影响。
iVacSens™ ATM 具有内置的大气开关功能，通过相对于气压的测量，可以精确控制真空系统向大气压排放。
可以监控温度参数以发出警告或控制信号，允许设备在过热时关闭或支持预测性维护策略。
定制解决方案
传感器模块可以使用特定的设定点开关值和其他数字参数进行定制，以满足不同的应用需求。
对于 OEM 客户，Sens4 提供定制解决方案，包括定制的安装法兰、接口、数字协议和布线，从而能够无缝集成到专业设备设计中。
灵活的作和配置
iVacSens™ 提供多种模拟和数字作模式，可无缝集成到客户设备中。
设定点控制输出
三个独立的设定点以用户定义的压力阈值提供数字信号。这些设定值使 iVacSens™ 能够用作压力开关，控制真空过程或确保离子源等设备有足够的真空度。
设定点功能还可以用作安全联锁开关，提高关键应用中的作安全性。
入门指南
iVacSens™ 评估套件使用户能够在集成到设备之前轻松探索其功能并评估其测量性能。
该套件配有 USB 连接和评估软件，简化了设置和数据分析。
为了增加便利性，评估传感器模块预装在 DN16KF 真空法兰上，可以直接安装到真空系统上。
应用和市场
VPi-7 iVacSens™ ATM 专为在高级真空过程中进行精确测量和控制而设计，是各种工业和科学应用的理想选择。此外，VPi-7 系列提供多种配置，以满足各种特定应用的需求。
PVD 涂层
VPM-5 具有可维修的挡板保护，可在物理气相沉积 （PVD） 涂层应用中使用并延长使用寿命。
前线
VPM-4 适用于前线真空的测量监测。设定点继电器可以编程为向外部设备提供控制信号。
空间模拟
在模拟太空的恶劣环境时测量真空气体压力。
氢气供应
氢气储罐和供应管线中绝缘真空的测量和监测。
半导体
半导体应用中的 CVD、PVD 和前级真空测量。提供陶瓷耐腐蚀传感器。
质谱仪
充分利用 VPM-4 在质谱仪仪器中提供的低压测量功能。
