MEMS Pirani传感器
宽范围 MEMS 皮拉尼传感器，用于 1.0E-6 至 10 mbar 的测量
耐腐蚀性
可选陶瓷或聚对二甲苯传感器保护
数字接口
用于系统集成的 UART 和 RS-485 数字接口
高级别集成
用于直接集成和连接客户设备
iVacSens™ 系列真空传感器模块是世界上最小的宽范围多功能真空计模块。它用作功能齐全的传统真空传感器，并经过预先校准，可立即使用。
iVacSens™ 专为无缝集成到真空下运行的高性能设备而设计，是质谱仪和扫描电子显微镜等应用的理想选择。
iVacSens™ 采用成熟、破纪录的 SmartPirani™ MEMS 热损失传感器，与传统的线式皮拉尼真空计、对流真空计和传统 MEMS 皮拉尼传感器相比，该传感器具有一流的性能、更宽的测量范围和更高的精度。
可以监控温度参数以发出警告或控制信号，允许设备在过热时关闭或支持预测性维护策略。
定制解决方案
传感器模块可以配置自定义设定点开关值和其他数字参数，以满足特定的应用要求。
对于 OEM 客户，Sens4 提供量身定制的解决方案，包括定制的安装法兰、接口、数字协议和布线，确保无缝集成到独特的设备设计中。
灵活的作和配置
iVacSens™ 提供多种模拟和数字作模式，可无缝集成到客户设备中。
设定点控制输出
三个独立的设定点以用户定义的压力阈值提供数字信号。这些设定值使 iVacSens™ 能够用作压力开关，控制真空过程或确保离子源等设备有足够的真空度。
设定点功能还可以用作安全联锁开关，提高关键应用中的作安全性。
入门指南
iVacSens™ 评估套件允许用户在将其集成到设备之前轻松评估其功能和测量性能。
该套件包括 USB 连接和评估软件，便于设置和数据分析。
评估传感器模块预装在 DN16KF 真空法兰上，确保轻松安装到真空系统上。
应用和市场
VPM-4 SmartPirani™ 专为在高级真空过程中进行精确测量和控制而设计，是各种工业和科学应用的理想选择。此外，VPM-4 系列提供多种配置，以满足各种特定应用的需求。
PVD 涂层
VPM-5 具有可维修的挡板保护，可在物理气相沉积 （PVD） 涂层应用中使用并延长使用寿命。
前线
VPM-4 适用于前线真空的测量监测。设定点继电器可以编程为向外部设备提供控制信号。
空间模拟
在模拟太空的恶劣环境时测量真空气体压力。
氢气供应
氢气储罐和供应管线中绝缘真空的测量和监测。
半导体
半导体应用中的 CVD、PVD 和前级真空测量。提供陶瓷耐腐蚀传感器。
质谱仪
充分利用 VPM-4 在质谱仪仪器中提供的低压测量功能。
