超宽测量范围
MEMS 皮拉尼和隔膜传感器组合提供 1.0E-6 至 1333 mbar 的测量范围
耐腐蚀性
可选陶瓷或聚对二甲苯传感器保护
不受气体影响的测量
双膜片传感器 5E-3 至 1333 mbar
CDG 自动零点调整
CDG 自动归零功能无需手动调零
VPM-15 TriCAP™ 传感器为各种真空应用提供一体化、宽范围测量解决方案，树立了新标准。它通过提供从 5.0E-3 到 1333 mbar 的经济高效、不受气体影响的测量，并结合热损失原理进行低至 1E-6 mbar 的测量，从而从其他真空计中脱颖而出。
在气体成分或类型可能发生变化的真空应用中，传统的依赖于气体的皮拉尼真空计可能会导致测量与实际压力的偏差。TriCAP™ 传感器使用精密电容隔膜计 （CDG） 传感器，消除了对气体的依赖性，即使在气体特性发生变化时也能提供准确的测量。
CDG 自动零点调整
集成的热损失 MEMS 皮拉尼传感器将测量范围扩展到 1E-6 mbar，并为电容压力计提供创新的自动零点调整功能，无需传统电容膜片真空计中常见的手动零点调整。无需手动按钮调零 — 只需抽真空至自动调零点，CDG 就会自动调整并随时可用。
支持在要求苛刻的应用中使用
对于传感器可能遇到腐蚀性或腐蚀性气体的应用，TriCAP™ 可提供保形保护涂层，作为有效的屏障。
TriCAP™ 传感器系列提供可选的陶瓷或聚对二甲苯保护层，以防止传感器材料腐蚀或氧化。陶瓷具有很强的耐腐蚀性，是电容式隔膜表中真空传感器隔膜的可靠材料。聚对二甲苯是一种独特的聚合物，具有卓越的耐腐蚀性和疏水性，专为医疗应用而设计，包括冻干和灭菌。
在某些真空过程中，颗粒可能会对真空计构成风险。对于这些应用，TriCAP™ 传感器可配备保护挡板，以防止宏观颗粒。TriCAP™ 传感器与保护涂层选件相结合，专为具有挑战性的真空环境而设计。
模拟输出
提供多种模拟输出缩放选项，以模拟其他供应商的真空计和传感器。可选的辅助模拟输出可实现对全范围真空压力和相对于大气压力的压力信号的外部监控
模拟输出电压为外部读数或控制提供信号。VPM-15 标配 1VDC/十倍频程 mbar、Torr 或 Pascal 的电压输出信号。
连接数字
RS-232 和 RS-485 串行接口可用于将压力和温度测量数据传输到外部设备。
数字接口支持诊断、预测性维护、服务、校准、设定点配置、模拟输出缩放以及实时真空压力测量的采集，以实现屏幕可视化。
可靠的设定点继电器控制
三个独立的固态开关继电器可用于控制外部设备，如泵、阀门和安全联锁电路。
与机电继电器不同，固态继电器具有更高的可靠性和更快的开关速度，具有无电弧触点，并且在开关过程中没有 EMI（电磁干扰）。
TriCAP™ 继电器经久耐用，经过 UL 认证、CSA 认证和 EN/IEC 60950-1 认证，确保在控制关键真空过程和高循环应用方面具有高度的信心。
其他供应商兼容性
VPM-15 TriCAP™ 传感器可与其他供应商的真空传感器和变送器配合使用，具有引脚兼容性、模拟电压、压力信号仿真和数字协议仿真功能。
这些仿真功能可实现传统微型皮拉尼传感器的快速、无缝性能升级，无需更改布线和系统设备软件即可过渡到下一代真空传感器。
VPM-15 TriCAP™ 在取代传统真空计和传感器时，可在许多应用中提供增强的测量性能。
其他供应商的仿真还提供与其他供应商的控制器和显示单元的兼容性。
硬质涂层
VPM-5 具有可维修的挡板保护，可在物理气相沉积 （PVD） 涂层应用中使用并延长使用寿命。
炉
在真空热处理过程中测量和控制真空。可选的挡板和涂层保护可用于工业应用。
空间模拟
由于测试对象的脱气，气体成分在空间模拟过程中可能会发生变化。VPM-15 消除了对皮拉尼气体的依赖。
太阳能薄膜
氢气储罐和供应管线中绝缘真空的测量和监测。
半导体
半导体应用中的 CVD、PVD 和前级真空测量。提供陶瓷耐腐蚀传感器。
质谱仪
充分利用 VPM-5 在质谱仪仪器中提供的低压测量功能。
