sens4 VPM-7 SmartPirani™ ATM真空传感器
超宽测量范围
从1.0E-6至1333毫巴，覆盖9个数量级
大气切换功能
精确控制真空系统排气压力
气体类型无关测量
膜片传感器测量范围2至1333毫巴
负载锁腔设计
集成式一体化负载锁腔压力控制解决方案
VPM-7 SmartPirani™ ATM真空传感器专为半导体负载锁腔精密压力控制及其他需要精确测量相对于大气环境压力的真空应用而设计。
它提供业界领先的性能，相比传统负载锁腔传感器及其他解决方案，具备更宽的测量范围、更高的精度以及更快的测量周期。
SmartPirani™ ATM通过将热传导式皮拉尼（Pirani）热损失真空计的可用测量范围扩展1-3个数量级，树立了新的行业标准。
VPM-7-10101232
- DN16KF Flange
- Standard Sensors
- RS-232 Interface
- mbar
- Std. Analog Output
- 3 Setpoint Relays
- 15 pin. D-Sub
VPM-7-10201232
- DN16KF Flange
- Standard Sensors
- RS-485 Interface
- mbar
- Std. Analog Output
- 3 Setpoint Relays
- 15 pin. D-Sub
VPM-7-10102132
- DN16KF Flange
- Standard Sensors
- RS-232 Interface
- torr
- MKS 900 Analog Output
- 3 Setpoint Relays
- 15 pin. D-Sub
VPM-7-40102132
- VCR4F Flange
- Standard Sensors
- RS-232 Interface
- torr
- MKS 900 Analog Output
- 3 Setpoint Relays
- 15 pin. D-Sub
一体化多传感器集成解决方案
VPM-7是真正的多传感器真空变送器，提供四种压力输出模式：环境气压传感器、宽量程皮拉尼热损耗传感器、绝对膜片传感器，以及相对于大气压的差分信号。多传感器协同工作，为现代负载锁真空腔体提供精准优化的压力控制。其中膜片传感器可提供2至1333毫巴（1.5至1000托）范围内与气体种类无关的高精度绝对压力读数。
VPM-7应用领域
负载锁腔是将半导体晶圆等器件从常压环境传输至真空工艺腔的关键过渡真空腔体。其工作压力需在常压与晶圆传输所需真空度之间精确循环切换。精准的压力控制能有效隔绝环境空气与颗粒污染，同时保护工艺腔体与晶圆安全。
负载锁工艺的测量与控制专家
VPM-7 SmartPirani™ ATM专为真空气体压力的顶级测控需求打造。其多元输出功能不仅提供压力信号，更集成了：
- 大气参考基准自动补偿
- 全量程无缝切换技术
- 工艺阶段智能识别功能
可靠的设定点继电器控制
VPM-7配备三组独立固态开关继电器，可精准控制负载锁腔的压力循环流程，包括：
- 真空泵组启停
- 气动阀门开关
- 安全联锁电路触发
- PLC系统协同控制
固态继电器的技术优势
相比传统机械继电器，VPM-7的固态方案具有：
✓ 无电弧触点设计
✓ 零电磁干扰(EMI)产生
✓ 开关速度提升10倍*
✓ 超长使用寿命（>10亿次操作*）
严苛认证保障
SmartPirani™ ATM继电器通过：
• UL认证
• CSA认可
• EN/IEC 60950-1安全认证
专为高循环频次的真空工艺（如半导体晶圆传输）提供持久可靠的工业级控制性能
空间环境模拟
VPM-7可在太空极端环境模拟实验中实现：
• 10^-6毫巴级高真空精确测量
• 热循环与真空环境联动控制
• 航天器件测试的可靠压力监控
质谱分析仪器
VPM-7为质谱仪提供：
• 电离室超低压精准监测（低至10^-6毫巴）
• 进样系统大气压差分测量
• 分子泵组智能启停控制
半导体制造
VPM-7在晶圆传输负载锁中实现：
• 毫秒级压力切换响应
• 兼容Ar/N2等工艺气体
• 即插即用替换主流品牌传感器
电子显微镜
VPM-7解决方案包含：
• 样品室真空度实时监测
• 环境气压补偿功能
• 防震设计适应高分辨率成像