超宽量程
采用MEMS皮拉尼与隔膜传感器组合技术，实现1.0E-6至1333毫巴的宽泛量程
卓越耐腐蚀性
可选配陶瓷或派瑞林传感器保护涂层
气体类型无关测量
双隔膜传感器实现5E-3至1333毫巴精确测量
CDG自动零点校准
CDG AutoZero功能彻底免除手动调零操作
VPM-15 TriCAP™ 传感器以一体化宽量程测量方案为各类真空应用树立新标杆。相较于传统真空计，其优势在于：
- 经济高效，提供 5.0E-3 至 1333 毫巴 的气体类型无关测量
- 结合热损耗原理，可扩展至 1E-6 毫巴 的超高真空测量
在气体成分可能变化的真空应用中，传统依赖气体类型的皮拉尼计可能导致实际压力测量偏差。TriCAP™ 传感器采用高精度电容式隔膜规（CDG），彻底消除气体依赖性，即使气体属性变化也能确保精准测量。
VPM-15 TriCAP™ 是一款创新的多传感器真空计，既能提升传统皮拉尼计的性能，也可作为经济高效的一体化解决方案，替代分立的电容式压力计和皮拉尼计组合。
VPM-15测量范围
CDG 自动零点校准
集成 MEMS 皮拉尼热损耗传感器，将量程扩展至 1E-6 毫巴，并为电容式压力计提供创新的自动零点校准功能，彻底避免传统电容隔膜规需手动调零的麻烦。无需按键操作——只需抽真空至自动调零点，CDG 即可自动完成校准并立即投入使用。
应对严苛应用的挑战
在可能接触腐蚀性或活性气体的应用中，TriCAP™ 提供防护涂层选项，有效隔离气体侵蚀。
TriCAP™ 传感器系列可选配陶瓷或派瑞林（Parylene）保护层，防止传感器材料腐蚀或氧化：
- 陶瓷具有极强的耐腐蚀性，是电容隔膜规真空传感器膜片的可靠材料。
- 派瑞林是一种独特的高分子材料，兼具卓越的耐腐蚀性与疏水性，适用于医疗应用（如冻干和灭菌）。
某些真空工艺中，颗粒物可能对真空计造成损害。针对此类需求，TriCAP™ 可加装防护挡板，阻隔宏观颗粒。结合防护涂层选项，TriCAP™ 传感器专为极端真空环境打造。
模拟输出
提供多种模拟输出量程选项，可兼容其他厂商的真空计和传感器。此外，可选配第二路模拟输出，用于同时监测全量程真空压力及相对于大气压的压力信号。
模拟输出电压可为外部读取或控制提供信号。VPM-15 标准配置为 1V DC/十倍程 输出（单位可选毫巴、托或帕斯卡），满足多样化测量需求。
数字连接
RS-232 和 RS-485 串行接口可将压力与温度测量数据传输至外部设备。
该数字接口支持以下功能：
- 设备诊断与预测性维护
- 远程校准及设定点配置
- 模拟输出量程调节
- 实时真空压力数据采集（用于屏幕可视化显示）
可靠设定点继电器控制
配备三个独立固态开关继电器，可精准控制外部设备（如真空泵、阀门及安全联锁电路）。
核心优势：
- 相比传统机电继电器，具备更高可靠性与更快切换速度
- 无电弧触点设计，切换过程零电磁干扰（EMI）
认证保障：
TriCAP™继电器通过：
- UL认证
- CSA认可
- EN/IEC 60950-1标准认证
专为高耐久性设计，确保关键真空工艺及高频次应用的控制安全。
VPM-5 SmartPirani™ 专为先进真空工艺的可靠测量与控制而设计，适用于工业与科研领域的多种应用场景。我们提供丰富的 VPM-5 配置选项，以满足不同应用的多样化需求。
典型应用包括：
- 工业领域：半导体制造、真空镀膜、真空炉工艺控制
- 科研领域：实验室真空系统、分析仪器配套
- 特殊环境：腐蚀性气体监测、高精度压力控制