双隔膜传感器
5.0E-3至1333毫巴测量范围，适用于与气体类型无关的测量
耐腐蚀性
可选陶瓷或聚对二甲苯传感器保护
数字与模拟接口
通过数字接口、模拟输出及设定点继电器实现灵活系统集成
大气压力切换
相对于大气压力的测量，确保通风循环的精准控制
VDM-7 DiCAP™ ATM双传感器真空变送器
VDM-7 DiCAP™ ATM变送器采用双传感器设计，树立了新的行业标准。相比其他真空计，其优势在于提供经济高效、与气体类型无关的测量，范围覆盖 5.0E-3 至 1333 mbar。此外，它还能进行相对于环境压力的附加测量，从而实现对真空系统排气过程的精准控制。
重新定义真空测量
VDM-7 DiCAP™ ATM 是一款创新的多传感器真空计，既能替代传统皮拉尼真空计并显著提升其性能，也可作为经济高效的一体化解决方案，取代以往需要电容式压力传感器和皮拉尼真空计组合使用的应用场景。
VDM-7真空变送器的核心技术优势
VDM-7采用与广受好评的VPM-7真空变送器相同的大气压力传感技术（专为负载锁定应用设计）。通过气压传感器与压电式绝对真空传感器的组合，可提供相对于大气压力的精准信号，从而实现真空系统排气循环的精确控制。
严苛工况的应对方案
针对腐蚀性/活性气体环境，DiCAP™系列可提供特殊防护涂层作为有效屏障：
- 陶瓷保护层
具有卓越的耐腐蚀性，是电容式薄膜规（CDG）真空传感器膜片的可靠材质选择 - 聚对二甲苯（Parylene）涂层
这种独特聚合物兼具超强耐腐蚀性与疏水性，特别适用于冻干工艺和过氧化氢灭菌等医疗应用
对于存在颗粒物污染的真空工艺，DiCAP™变送器可选配防护挡板以阻挡宏观颗粒。结合上述防护涂层方案，该系列产品能在最具挑战性的真空环境中保持稳定性能。
在气体成分或类型可能变化的真空应用中，传统的气体依赖性皮拉尼（Pirani）真空计通常会产生与实际压力较大的测量偏差。而 VDM-7 变送器采用高精度电容式薄膜规（CDG）传感器，彻底消除了气体依赖性，即使气体性质发生变化，也能提供精确的测量结果。
VDM-7 DiCAP™ ATM 真空变送器专为先进真空工艺的可靠测量与控制而设计，广泛适用于工业与科研领域的多种应用场景。我们提供丰富的VDM-7配置选项，以满足不同应用的多样化需求。
典型应用领域
PVD镀膜
配备可维护挡板保护的VDM-5型号，特别适用于物理气相沉积（PVD）镀膜工艺，确保设备长期稳定运行。
真空热处理
精准测量与控制真空热处理过程中的压力变化。工业级应用可选配挡板及防护涂层方案。
空间环境模拟
为模拟极端太空环境提供精确的真空气体压力测量解决方案。
真空蒸馏
用于氢气储罐及输送管道绝缘真空的测量与监控。
半导体制造
适用于化学气相沉积（CVD）、物理气相沉积（PVD）及前置真空测量。可选配耐腐蚀陶瓷传感器。
等离子灭菌
创新的双传感器一体化设计，为过氧化氢（H₂O₂）灭菌工艺提供完整的真空测量方案。
Specifications | |
| Measuring range in mbar | 5E-3 to 1333 mbar (3.75E-3 to 1000 Torr) |
| Measuring principle 5E-3 to 3.99 mbar | Capacitance Diaphragm Gauge (CDG) |
| Measuring principle 4 to 5.99 mbar | Blended CDG / Piezo Diaphragm |
| Measuring principle 6 to 1333 mbar | Piezo Diaphragm |
| Accuracy 5E-3 to 9.99E-3 mbar | 5% of reading |
| Accuracy 1E-2 to 799 mbar | 0.5% of reading |
| Accuracy 800 to 1099 mbar | 0.25% of reading |
| Accuracy 1100 to 1333 mbar | 0.5% reading |
| Hysteresis 1E-3 to 10 mbar (ISO19685:2017) | 1% |
| Hysteresis 10 to 1333 mbar (ISO19685:2017) | 0.1% |
| Analog output resolution | 16 bit (150 μV) |
| Analog output update rate | 124 Hz |
| Response time (ISO 19685:2017) | <20 ms |
| Temperature compensation | +10 to +50 °C |
| Solid state relay set point range | 5E-6 to 1333 mbar (3.75E-6 to 1000 Torr) |
| Solid state relay contact rating | 50 V, 100 mArms / mADC |
| Solid state relay approvals | UL Recognized: File E76270 CSA Certified: Certificate 1175739 EN/IEC 60950-1 Certified |
| Environment conditions | |
| Operating ambient temperature | -20 to +50 °C |
| Media temperature | -20 to +50 °C |
| Storage ambient temperature | -20 to +80 °C |
| Bake-out temperature (non-operating) | +80 °C |
| Maximum media pressure(3) | 4 bar absolute |
| Mounting position | Arbitrary (4) |
| Protection rating, EN 60529/A2:2013 | IP40 |
| Humidity, IEC 68-2-38 | 98%, non-condensing |
| Power supply | |
| Supply voltage | 12-30 VDC |
| Power consumption | 350 mW (max) |
| Reverse polarity protection | Yes |
| Overvoltage protection | Yes |
| Internal fuse | 100 mA (thermal recoverable) |
| Materials | |
| Enclosure | SS 1.4307 / AISI 304L / Aluminum 6061 |
| Vacuum Process flange (media wetted) | SS 1.4401 / AISI 316 |
| Vacuum exposed materials (media wetted) Standard version | 316 Stainless steel, Kovar, glass, silicon, , AI2O3, gold, Viton®, low out-gassing epoxy resin, solder, RO4305, vitreous silica |
| Vacuum exposed materials (media wetted) Parylene protected version | 316 Stainless steel, Viton®, Parylene |
| Vacuum exposed materials (media wetted) Ceramic protected version | 316 Stainless steel, Viton®, Aluminum oxide ceramic (AI2O3) |
| Process leak tightness | <1·10-9 mbar·l/s |
| Approvals | |
| CE | EMC directive 2014/30/EU |
| RoHS compliance | Directive EU 2015/863 |