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VDM-5 DiCAP™ 膜片式真空变送器
双膜片传感器技术
• 5.0E-3至1333毫巴宽量程测量
• 气体类型无关的精确测量
卓越的耐腐蚀性能
• 可选陶瓷或聚对二甲苯(Parylene)传感器保护涂层
• 适用于腐蚀性气体和恶劣工艺环境
灵活的接口配置
• 数字接口（便于系统集成）
• 模拟量输出（兼容传统系统）
• 设定点继电器（用于过程控制）
高性价比解决方案
• 单台设备集成双电容式膜片规功能
• 降低系统复杂性和总体拥有成本
典型应用
✓ 半导体工艺设备
✓ 真空镀膜系统
✓ 分析仪器
✓ 科研实验装置
VDM-5 DiCAP™传感器以一体式测量方案为各类真空应用树立新标杆。其5.0E-3至1333毫巴的气体类型无关测量范围兼具成本效益，使之在众多真空计中脱颖而出。
在气体成分可能变化的真空环境中，传统依赖气体类型的皮拉尼真空计常出现测量偏差。VDM-5采用精密电容式薄膜规（CDG）传感器，彻底消除气体依赖性，即使气体特性发生变化也能确保测量精准。
重新定义真空测量
VDM-5 DiCAP™ 是一款创新的多传感器真空计，既能提升传统皮拉尼真空计应用的性能，也可作为经济高效的一体化解决方案，替代分立的电容式压力计与皮拉尼真空计组合。
胜任严苛工况的卓越性能
面对腐蚀性或活性气体的应用环境，DiCAP™可选配共形保护镀层，形成有效防护屏障。
VDM-5 DiCAP™传感器系列提供陶瓷或聚对二甲苯（Parylene）可选保护层，确保传感材料免受腐蚀氧化威胁：
- 陶瓷层：具有卓越的耐腐蚀特性，是电容式薄膜规真空传感器膜片的可靠材质
- 聚对二甲苯：这种独特聚合物兼具超强耐腐蚀性与疏水性，特别适用于冻干灭菌、过氧化氢消毒等医疗应用
针对存在颗粒物威胁的真空工艺，DiCAP™传感器可加装防护挡板阻隔宏观颗粒。结合多重保护镀层选项，该系列产品专为在挑战性真空环境中稳定运行而设计。
应用与市场
VDM-5 DiCAP™ 专为先进真空工艺的可靠测量与控制而设计，适用于工业与科学领域的多种应用。我们提供多种 VDM-5 配置方案，以满足不同应用场景的多样化需求。
物理气相沉积 (PVD)
PVD 镀膜
配备可维护挡板保护的 VDM-5，能在物理气相沉积 (PVD) 镀膜应用中实现长效稳定运行。
真空炉应用
真空热处理
在真空热处理过程中精确测量与控制真空度。工业应用可选配挡板及镀层保护组件。
太空环境模拟
太空模拟
在模拟极端太空环境时，精准测量真空气体压力。
真空蒸馏
蒸馏工艺
用于氢气储罐及输送管道中绝缘真空的测量与监测。
半导体行业
半导体制造
适用于化学气相沉积 (CVD)、物理气相沉积 (PVD) 及半导体前级管线的真空测量。可选配陶瓷抗腐蚀传感器。
等离子灭菌
过氧化氢灭菌
利用双传感器一体化设计，为过氧化氢灭菌工艺提供全面测量解决方案。
Specifications | |
| Measuring range in mbar | 5E-3 to 1333 mbar (3.75E-3 to 1000 Torr) |
| Measuring principle 5E-3 to 3.99 mbar | Capacitance Diaphragm Gauge (CDG) |
| Measuring principle 4 to 5.99 mbar | Blended CDG / Piezo Diaphragm |
| Measuring principle 6 to 1333 mbar | Piezo Diaphragm |
| Accuracy 5E-3 to 9.99E-3 mbar | 5% of reading |
| Accuracy 1E-2 to 799 mbar | 0.5% of reading |
| Accuracy 800 to 1099 mbar | 0.25% of reading |
| Accuracy 1100 to 1333 mbar | 0.5% reading |
| Hysteresis 1E-3 to 10 mbar (ISO19685:2017) | 1% |
| Hysteresis 10 to 1333 mbar (ISO19685:2017) | 0.1% |
| Analog output resolution | 16 bit (150 μV) |
| Analog output update rate | 124 Hz |
| Response time (ISO 19685:2017) | <20 ms |
| Temperature compensation | +10 to +50 °C |
| Solid state relay set point range | 5E-6 to 1333 mbar (3.75E-6 to 1000 Torr) |
| Solid state relay contact rating | 50 V, 100 mArms / mADC |
| Solid state relay approvals | UL Recognized: File E76270 CSA Certified: Certificate 1175739 EN/IEC 60950-1 Certified |
| Environment conditions | |
| Operating ambient temperature | -20 to +50 °C |
| Media temperature | -20 to +50 °C |
| Storage ambient temperature | -20 to +80 °C |
| Bake-out temperature (non-operating) | +80 °C |
| Maximum media pressure(3) | 4 bar absolute |
| Mounting position | Arbitrary (4) |
| Protection rating, EN 60529/A2:2013 | IP40 |
| Humidity, IEC 68-2-38 | 98%, non-condensing |
| Power supply | |
| Supply voltage | 12-30 VDC |
| Power consumption | 350 mW (max) |
| Reverse polarity protection | Yes |
| Overvoltage protection | Yes |
| Internal fuse | 100 mA (thermal recoverable) |
| Materials | |
| Enclosure | SS 1.4307 / AISI 304L / Aluminum 6061 |
| Vacuum Process flange (media wetted) | SS 1.4401 / AISI 316 |
| Vacuum exposed materials (media wetted) Standard version | 316 Stainless steel, Kovar, glass, silicon, , AI2O3, gold, Viton®, low out-gassing epoxy resin, solder, RO4305, vitreous silica |
| Vacuum exposed materials (media wetted) Parylene protected version | 316 Stainless steel, Viton®, Parylene |
| Vacuum exposed materials (media wetted) Ceramic protected version | 316 Stainless steel, Viton®, Aluminum oxide ceramic (AI2O3) |
| Process leak tightness | <1·10-9 mbar·l/s |
| Approvals | |
| CE | EMC directive 2014/30/EU |
| RoHS compliance | Directive EU 2015/863 |
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