VDM-3陶瓷膜片真空传感器技术参数
测量范围
0.1至1333毫巴
采用陶瓷膜片传感器技术，实现与气体种类无关的精确测量
耐腐蚀性能
可兼容多种酸类和溶剂介质
双传感器组合技术
• 真空绝对压力测量
• 大气相对压力测量
真空系统通风控制
• 表压测量功能
• 大气压力切换选项
核心技术特点
VDM-3采用耐腐蚀氧化铝陶瓷膜片设计，其形变随施加压力变化。核心压力传感元件采用压阻式测量技术，可不受气体类型或成分影响，实现精准真空压力测量。
除绝对压力传感器外，本产品集成大气压力传感器，可测量环境压力并生成相对于大气压力的真空测量信号。该大气相对压力测量技术，可在真空系统通风至大气压时实现精确的压力控制。
相较于传统采用油浸式传感元件的不锈钢压电传感器，VDM-3的陶瓷压电传感元件保持完全干燥状态，彻底避免真空系统污染风险。
电容式膜片真空规的革新替代方案
电容式膜片真空规(CDGs)长期以来被广泛应用于各类先进真空工艺的测量与控制领域。VDM-3传感器以其卓越的性价比和紧凑型设计，成为传统1000托/毫巴全量程电容式膜片规的理想替代品。
创新性功能整合
对于需要独立大气压力开关的应用场景，VDM-3创新性地将真空测量与大气压力切换功能集成于单一设备中，显著提升系统集成度。
严苛环境适应性
- 测量范围覆盖工业级需求
- 特殊设计的氧化铝陶瓷膜片可耐受腐蚀性气体和化学物质
- 对多种溶剂和酸类介质表现出优异的耐腐蚀特性
多重防护配置可选
- 聚对二甲苯(Parylene)防护涂层：
- 独特的高分子材料具有超强耐腐蚀和疏水特性
- 特别适用于医疗设备冻干工艺和过氧化氢等离子灭菌等专业领域
- 防护挡板选件：
- 有效阻隔真空系统中的宏观颗粒物
- 防止污染物在传感器膜片表面沉积
卓越的机械可靠性
氧化铝传感元件采用强化设计，具备出色的抗冲击能力，可承受：
- 瞬时通风工况
- 最高2巴绝对压力(29磅/平方英寸)的过压条件
Specifications | |
| Measuring range in mbar | 0.1 to 1333 mbar (0.1 to 1000 Torr) |
| Measuring principle | Ceramic diaphragm piezo resistive |
| Accuracy 100 to 1333 mbar | 0.5% of reading |
| Accuracy 1 to 99.9 mbar | 0.05% of full scale (1333 mbar) |
| Hysteresis 0.1 to 10 mbar (ISO19685:2017) | 1% |
| Hysteresis 10 to 1200 mbar (ISO19685:2017) | 0.1% |
| Analog output resolution | 16 bit (150 μV) |
| Analog output update rate | 560 Hz |
| Response time (ISO 19685:2017) | <20 ms |
| Temperature compensation | +10 to +50 °C |
| Solid state relay set point range | 1 to 1333 mbar (0.75 to 1000 Torr) |
| Solid state relay contact rating | 50 V, 100 mArms / mADC |
| Solid state relay approvals | UL Recognized: File E76270 CSA Certified: Certificate 1175739 EN/IEC 60950-1 Certified |
| Environment conditions | |
| Operating ambient temperature | -20 to +50 °C |
| Media temperature | -20 to +50 °C |
| Storage ambient temperature | -40 to +80 °C |
| Bake-out temperature (non-operating) | +80 °C |
| Maximum media pressure(3) | 2 bar absolute (29 psia) |
| Burst pressure(4) | 4 bar absolute (58 psia) |
| Mounting position | Arbitrary |
| Protection rating, EN 60529/A2:2013 | IP40 |
| Humidity, IEC 68-2-38 | 98%, non-condensing |
| Power supply | |
| Supply voltage | 12-30 VDC |
| Power consumption | 240 mW (max) |
| Reverse polarity protection | Yes |
| Overvoltage protection | Yes |
| Internal fuse | 100 mA (thermal recoverable) |
| Materials | |
| Enclosure | SS 1.4307 / AISI 304L / Aluminum 6061 |
| Vacuum Process flange (media wetted) | SS 1.4401 / AISI 316 |
| Vacuum exposed materials (media wetted) Standard version | 316 Stainless steel, Viton®, Aluminum oxide ceramic (AI2O3) |
| Vacuum exposed materials (media wetted) Parylene protected version | 316 Stainless steel, Viton®, Parylene |
| Process leak tightness | <1·10-9 mbar·l/s |
| Approvals | |
| CE | EMC directive 2014/30/EU |
| RoHS compliance | Directive EU 2015/863 |
