SENS4,VPM-7-10102132,真空变送器,真空计

SENS4,VPM-7-10102132,真空变送器,真空计,MEMS皮拉尼/压电/大气压三传感器,1E-6~1333 mbar(9个量级),2-1333 mbar全量程气源无关,标准型

PM-7 技术规格
型号VPM-7-10102132

基础参数

  • 产品编号:VPM-7-10102132

核心配置

项目规格
法兰标准DN16KF
通信接口RS-232
模拟输出MKS900标准信号
压力单位torr(可切换mbar)
控制继电器3组独立触点
电气连接15针高密度D-Sub

传感器系统

  • 技术组合:MEMS皮拉尼/压电/大气压三传感器
  • 量程覆盖:1E-6~1333 mbar(9个量级)
  • 气体普适性:2-1333 mbar全量程气源无关
  • 防护等级:标准型

功能特性

  1. 负载锁腔室专用大气压切换功能
  2. 数字(RS-232)/模拟(MKS900)/继电器三路输出
  3. 半导体级超宽量程测量
SENS4,VPM-7-10102132,真空变送器,真空计
SENS4,VPM-7-10102132,真空变送器,真空计

 

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