SENS4,VPM-7-10102132,真空变送器,真空计,MEMS皮拉尼/压电/大气压三传感器,1E-6~1333 mbar(9个量级),2-1333 mbar全量程气源无关,标准型
PM-7 技术规格
型号:VPM-7-10102132
基础参数
- 产品编号:VPM-7-10102132
核心配置
项目 | 规格 |
---|---|
法兰标准 | DN16KF |
通信接口 | RS-232 |
模拟输出 | MKS900标准信号 |
压力单位 | torr(可切换mbar) |
控制继电器 | 3组独立触点 |
电气连接 | 15针高密度D-Sub |
传感器系统
- 技术组合:MEMS皮拉尼/压电/大气压三传感器
- 量程覆盖:1E-6~1333 mbar(9个量级)
- 气体普适性:2-1333 mbar全量程气源无关
- 防护等级:标准型
功能特性
- 负载锁腔室专用大气压切换功能
- 数字(RS-232)/模拟(MKS900)/继电器三路输出
- 半导体级超宽量程测量

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