SENS4,VPM-7,真空变送器,真空计,用于半导体负载锁精密压力控制,VPM-7 SmartPirani™ ATM变送器专为半导体负载锁精密压力控制及其他需要精确测量相对于大气环境压力的真空应用而设计。
VPM-7 SmartPirani™ ATM 变送器
| 真空测量 |
超宽量程
1.0E-6至1333 mbar（覆盖9个数量级）
大气压切换功能
真空系统排气的精确压力控制
气体无关测量
膜片传感器检测范围：2至1333 mbar
负载锁设计
集成化一体式负载锁压力控制解决方案
VPM-7 SmartPirani™ ATM变送器专为半导体负载锁精密压力控制及其他需要精确测量相对于大气环境压力的真空应用而设计。
相比传统负载锁变送器及其他解决方案，本产品具备更宽量程、更高精度及更快测量周期的顶尖性能。
SmartPirani™ ATM通过将热导式皮拉尼真空计可用量程扩展1-3个数量级，树立了行业新标准。
热销VPM-7配置
畅销款
DN16KF法兰 | VCR4F接口 | 即插式安装
型号：VPM-7-10101232
• DN16KF法兰
• 标准传感器
• RS-232接口
• 标准模拟输出
• 单位：mbar
• 3组设定点继电器
• 15针HD D-sub接口
型号：VPM-7-10201232
• DN16KF法兰
• 标准传感器
• RS-485接口
• 标准模拟输出
• 单位：mbar
• 3组设定点继电器
• 15针HD D-sub接口
型号：VPM-7-10102132
• DN16KF法兰
• 标准传感器
• RS-232接口
• 标准模拟输出
• 单位：torr
• 3组设定点继电器
• 15针HD D-sub接口
型号：VPM-7-10202132
• DN16KF法兰
• 标准传感器
• RS-485接口
• 标准模拟输出
• 单位：torr
• 3组设定点继电器
• 15针HD D-sub接口
一体化多传感器变送器解决方案
VPM-7是真正的多传感器变送器，集成四种压力输出：环境气压传感器、宽量程皮拉尼热损耗传感器、绝对膜片传感器和相对于大气压的信号输出，协同优化现代负载锁真空腔室的精准压力控制。膜片传感器提供2至1333 mbar（1.5至1000 Torr）的气体无关高精度绝对读数。
VPM-7应用范围
负载锁是用于将半导体晶圆等器件从常压环境传输至真空工艺腔室的过渡腔体，需在常压与目标真空度之间循环切换。精准的压力控制对防止环境空气污染和颗粒侵入至关重要，可同时保护工艺腔和晶圆安全。
负载锁工艺测控
VPM-7 SmartPirani™ ATM专为顶尖的真空气压测控而设计，其多重输出功能远超普通压力信号测量。
典型负载锁压力循环
可靠设定点继电器控制
三个独立固态开关继电器支持外接负载锁压力循环控制，包括泵阀、安全联锁电路、PLC等设备。相比机电继电器，固态继电器具备更高可靠性、更快切换速度、无电弧触点且不产生电磁干扰（EMI），通过UL认证、CSA认可及EN/IEC 60950-1标准，确保关键真空工艺和高频应用的稳定运行。
模拟输出
提供1 VDC/十进制的标准电压输出（支持mbar/Torr/Pascal单位），可自定义输出规格以实现与其他品牌仪表的无缝替换。
数字接口
RS-232/485串口支持压力/温度数据传输，用于诊断、预测性维护、校准、设定点配置及实时真空压力可视化监测。
耐腐蚀传感器
标准配置适用于洁净环境，可选配陶瓷膜片（耐腐蚀）或派瑞林涂层（疏水抗蚀）传感器应对蚀刻气体等严苛工况。
兼容第三方设备
提供引脚兼容、模拟信号/数字协议仿真的即插式升级方案，可无缝替换传统皮拉尼变送器、对流规等老旧设备，无需更改线缆和系统软件即可提升测量性能并降低成本。
定制化设置
支持测量范围、压力单位、设定点等预配置，定制机型配有专属料号便于复购。
应用领域
真空热处理炉：真空退火过程测控，可选挡板防护
空间环境模拟：极端真空环境压力监测
质谱仪：低气压测量支持
半导体：负载锁精准控压，兼容旧型号替换
电子显微镜：真空/环境压差同步监测
PVD镀膜：配备可维护挡板的长效镀膜应用方案
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