SENS4,VPM-5,SmartPirani™,真空变送器,超宽量程耐腐蚀真空计,基于MEMS传感器与数字信号处理创新架构，将热导式真空规量程扩展1-3个数量级，消除传统皮拉尼规气体依赖性，精度媲美电容规。
VPM-5 SmartPirani™ 真空变送器
| 真空测量 |
核心特性
▸ 超宽量程：1.0E-6~1333 mbar（覆盖9个数量级）
▸ 耐腐蚀选配：陶瓷/派瑞林涂层防护
▸ 气体无关测量：2~1333 mbar采用精密膜片传感器
▸ 卓越性价比：多场景真空应用标杆性能
技术突破
基于MEMS传感器与数字信号处理创新架构，将热导式真空规量程扩展1-3个数量级，消除传统皮拉尼规气体依赖性，精度媲美电容规。
严苛工况适配
- 防腐选项：
• 陶瓷防护（电容规级耐腐蚀）
• 医用级派瑞林涂层（耐灭菌工艺） - 防颗粒设计：可拆卸挡板防护
热销型号
VPM-5-10101211
• DN16KF法兰 | RS-232接口 | mbar单位 | 1组继电器 | 9针D-sub
VPM-5-10201211
• DN16KF法兰 | RS-485接口 | mbar单位 | 1组继电器 | 9针D-sub
测控功能
模拟输出
1 VDC/十进制的标准输出（支持mbar/Torr/Pascal），兼容主流品牌替换
数字接口
RS-232/485支持：
- 实时压力可视化
- 远程诊断/校准
- 设定点配置
固态继电器
3组UL/CSA认证触点：
- 无电弧/零EMI
- 开关速度提升10倍
兼容性设计
- 引脚/信号/协议全兼容传统皮拉尼规
- S4-Connect技术通过电源线实现数字通信
应用领域
PVD镀膜：带可维护挡板的镀膜方案
真空热处理：工业级炉压控制
空间模拟：极端环境压力监测
氢能系统：储氢罐真空绝缘监测
半导体：CVD/PVD工艺控制
质谱仪：低气压测量支持
规格
测量范围（mbar）
1×10⁻⁶ 至 1333 mbar（7.5×10⁻⁷ 至 1000 Torr）
测量原理
1×10⁻⁶ 至 1.5 mbar：MEMS 皮拉尼（Pirani）热导率
1.5 至 2 mbar：混合 MEMS 皮拉尼/压阻式读数
2 至 1333 mbar：MEMS 压阻式隔膜
精度
1×10⁻⁵ 至 9.99×10⁻⁵ mbar：读数的 25%
1×10⁻⁴ 至 7.99 mbar：读数的 5%
8.00 至 99.9 mbar：读数的 1%
100 至 800 mbar：读数的 0.5%
800 至 1099 mbar：读数的 0.25%
1100 至 1333 mbar：读数的 0.5%
滞后性
1×10⁻³ 至 10 mbar（符合 ISO 19685:2017）：1%
10 至 1333 mbar（符合 ISO 19685:2017）：0.1%
模拟输出
**分辨率：**16 位（150 μV）
**更新速率：**124 Hz
响应时间（符合 ISO 19685:2017）
<20 毫秒
温度补偿
+10 至 +50 °C
固态继电器设定范围
5×10⁻⁶ 至 1333 mbar（3.75×10⁻⁶ 至 1000 Torr）
固态继电器触点额定值
50 V，100 mArms / mADC
固态继电器认证
UL 认证：文件号 E76270
CSA 认证：证书号 1175739
EN/IEC 60950-1 认证
环境条件
工作环境温度：-20 至 +50 °C
介质温度：-20 至 +50 °C
存储环境温度：-40 至 +120 °C
烘烤温度（非工作状态）：+120 °C
**最大介质压力(3)：**10 bar 绝压
**安装位置：**任意
**防护等级（符合 EN 60529/A2:2013）：**IP40
**湿度（符合 IEC 68-2-38）：**98%，非冷凝
电源
**供电电压：**12-30 VDC
**功耗：**最大 240 mW
**反接保护：**是
**过压保护：**是
**内部保险丝：**100 mA（热恢复型）
材料
**外壳：**SS 1.4307 / AISI 304L / 铝 6061
**真空工艺法兰（接触介质）：**SS 1.4401 / AISI 316
接触介质的真空暴露材料（标准版本）
316 不锈钢、Kovar、玻璃、硅、镍、铝、SiO₂、Si₃N₄、金、Viton®、低析气环氧树脂、焊料、RO4305
接触介质的真空暴露材料（Parylene 保护版本）
316 不锈钢、Viton®、Parylene
接触介质的真空暴露材料（陶瓷保护版本）
316 不锈钢、Viton®、氧化铝陶瓷 (Al₂O₃)
工艺泄漏密封性
<1×10⁻⁹ mbar·l/s
可靠性
**MTBF（平均无故障时间）：**13,092,170 小时
**故障率（FIT，时间=10E+9 小时）：**76.38
认证
**CE：**符合 EMC 指令 2014/30/EU
**RoHS 合规性：**符合 EU 指令 2015/863
https://www.bihec.com/sens4-vacuum-pressure/SENS4,VPM-5,SmartPirani™,真空变送器,超宽量程耐腐蚀真空计/
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