SENS4,VPM-4,真空变送器,真空开关功能优化,全量程测量大气压及以上,采用先进MEMS传感器与数字信号处理架构，将热导式真空规量程向下扩展1-3个数量级。专为真空开关功能优化，需全量程测量（至大气压及以上）时推荐VPM-5型号。
VPM-4 SmartPirani™ Lite 真空变送器
| 真空测量 |
核心特性
▸ 超宽量程MEMS皮拉尼传感器：1.0E-6~10 mbar
▸ 耐腐蚀选配：陶瓷/派瑞林涂层防护
▸ 数字接口：RS-232/485系统集成
▸ 过程控制：可编程继电器实现真空开关功能
技术突破
采用先进MEMS传感器与数字信号处理架构，将热导式真空规量程向下扩展1-3个数量级。专为真空开关功能优化，需全量程测量（至大气压及以上）时推荐VPM-5型号。
严苛工况适配
- 防腐选项：
• 陶瓷防护层（电容规级耐腐蚀）
• 医用级派瑞林涂层（耐过氧化氢等离子灭菌） - 防颗粒选配：可拆卸挡板防护
测控功能
模拟输出
1 VDC/十进制的标准输出（支持mbar/Torr/Pascal），兼容主流品牌仪表替换
数字接口
RS-232/485抗干扰传输，支持：
- 实时压力可视化
- 远程诊断/校准
- 设定点配置
固态继电器
3组UL/CSA认证触点：
- 无电弧/零EMI
- 开关速度比机电继电器快10倍
兼容性设计
- 引脚定义兼容传统皮拉尼规
- 模拟输出曲线/数字协议可仿真他厂产品
- S4-Connect技术通过电源线实现数字通信
应用领域
PVD镀膜：带可维护挡板的镀膜工艺
前级管路监测：可编程继电器控制外围设备
空间模拟：极端真空环境测量
氢能系统：储氢罐绝缘真空监测
半导体：CVD/PVD工艺真空控制
质谱仪：低气压测量支持
规格
测量范围（mbar）
1×10⁻⁶ 至 10 mbar（7.5×10⁻⁷ 至 7.5 Torr）
测量原理
1×10⁻⁶ 至 10 mbar
MEMS 皮拉尼热导法
精度
1×10⁻⁵ 至 9.99×10⁻⁵ mbar
读数的 25%
1×10⁻⁴ 至 9.99×10⁻¹ mbar
读数的 5%
1.00 至 10 mbar
读数的 30%
滞后（根据 ISO19685:2017）
1×10⁻³ 至 10 mbar
1%
模拟输出分辨率
16 位（150 μV）
模拟输出更新率
124 Hz
响应时间（根据 ISO 19685:2017）
<20 ms
温度补偿
+10 至 +50 °C
固态继电器设定范围
5×10⁻⁶ 至 1333 mbar（3.75×10⁻⁶ 至 1000 Torr）
固态继电器触点额定值
50 V，100 mArms / mADC
固态继电器认证
UL 认证：文件号 E76270
CSA 认证：证书号 1175739
EN/IEC 60950-1 认证
环境条件
工作环境温度
-20 至 +50 °C
介质温度
-20 至 +50 °C
储存环境温度
-40 至 +120 °C
烘烤温度（非工作状态）
+120 °C
最大介质压力(3)
10 bar 绝对压力
安装位置
任意
防护等级（根据 EN 60529/A2:2013）
IP40
湿度（根据 IEC 68-2-38）
98%，不凝结
电源
电源电压
12-30 VDC
功耗
最大 240 mW
反接保护
是
过压保护
是
内部保险丝
100 mA（可恢复热保险丝）
材料
外壳
SS 1.4307 / AISI 304L / 铝 6061
真空工艺法兰（接触介质）
SS 1.4401 / AISI 316
接触真空材料（接触介质）标准版本
316 不锈钢、Kovar、玻璃、硅、镍、铝、SiO₂、Si₃N₄、金、Viton®、低析气环氧树脂
接触真空材料（接触介质）Parylene 保护版本
316 不锈钢、Viton®、Parylene
接触真空材料（接触介质）陶瓷保护版本
316 不锈钢、Viton®、氧化铝陶瓷（Al₂O₃）
工艺泄漏密封性
<1×10⁻⁹ mbar·l/s
可靠性
MTBF（平均无故障时间）
13,092,170 小时
失效率 FIT（每 10⁹ 小时内的失效次数）
76.38
认证
CE
电磁兼容指令 2014/30/EU
RoHS 符合性
指令 EU 2015/863
(1) 精度规格为在零点调整后、稳定温度下的典型值。
(2) Viton® 是 THE CHEMOURS COMPANY FC, LLC 的商标。
(3) 超压限制仅在使用符合规格的接头时适用。
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