SENS4,VPM-17 TriCAP™ ATM 传感器,多传感器真空计,VPM-17 TriCAP™ ATM传感器为广域真空应用树立了全新的一体化测量标准。相比传统真空计，它不仅提供5.0E-3至1333 mbar经济高效的气体无关测量范围，还具备低至1E-6 mbar的皮拉尼热损耗测量能力。
VPM-17 TriCAP™ ATM 传感器
| 真空 |
超宽测量范围
9个数量级覆盖1.0E-6至1333 mbar，其中5E-3至1333 mbar为气体无关测量
创新四传感器组合
集成MEMS皮拉尼、电容膜片、压电膜片及气压传感器
CDG自动调零功能
CDG自动调零功能无需手动校准
大气压切换功能
相对大气压测量实现真空系统精准排气控制
VPM-17 TriCAP™ ATM传感器为广域真空应用树立了全新的一体化测量标准。相比传统真空计，它不仅提供5.0E-3至1333 mbar经济高效的气体无关测量范围，还具备低至1E-6 mbar的皮拉尼热损耗测量能力。
在气体成分可能变化的真空应用中，传统气体依赖型皮拉尼计会导致测量偏差。TriCAP™ ATM采用高精度电容式膜片规（CDG）传感器，彻底消除气体依赖性，即使气体特性变化也能确保测量精准。
除真空测量外，VPM-17支持相对大气压的压力测量，可精确控制真空系统排气流程。——重新定义真空测量
TriCAP™ ATM是真正创新的多传感器真空计，既可用于升级传统皮拉尼计应用，也可作为分立式电容规与皮拉尼计的经济型一体化替代方案。
VPM-17测量范围
CDG自动调零
集成MEMS皮拉尼热损耗传感器将测量范围扩展至1E-6 mbar，并为电容规引入创新自动调零功能，省去传统电容膜片规繁琐的手动调零步骤。无需按键操作——抽真空至自动调零点后，电容膜片规即自动校准并准备就绪。
严苛应用适配
针对可能接触腐蚀性或活性气体的环境，TriCAP™可选配防护涂层作为有效屏障。
该系列提供陶瓷或聚对二甲苯保护层选项，防止传感器材料腐蚀氧化。陶瓷具有卓越耐腐蚀性，是电容膜片规真空传感器膜片的可靠材质。聚对二甲苯作为特种聚合物，兼具优异耐腐蚀性与疏水性，特别适合冻干灭菌等医疗应用。
某些真空工艺中的颗粒可能威胁仪表安全。为此TriCAP™可选配防护挡板阻挡宏观颗粒，结合防护涂层选项，专为极端真空环境打造。
带防护挡板的VPM-17传感器
模拟输出
提供多种模拟输出缩放选项，可模拟其他厂商真空计及变送器信号。
可选次级模拟输出支持同步监测全量程真空压力及相对大气压信号。
标准配置提供1VDC/十倍频程（mbar/Torr/Pascal）电压输出信号，适用于外部读取或控制。
数字连接
RS-232与RS-485串行接口可传输压力温度数据至外部设备。
数字接口支持诊断、预测性维护、校准、设定点配置、模拟输出缩放及实时真空压力数据可视化。配套数据记录软件便于PC端交互。
可靠设定点继电器控制
三个独立固态开关继电器可控制泵阀、安全联锁等外部设备。
相比机电继电器，固态方案具备更高可靠性、更快切换速度，且无电弧接触与电磁干扰（EMI）。
TriCAP™继电器通过UL认证、CSA认可及EN/IEC 60950-1认证，确保关键真空流程与高频应用的控制安全。
第三方兼容性
VPM-17 TriCAP™ ATM提供引脚兼容、模拟电压信号模拟及数字协议模拟功能，可匹配其他厂商真空传感器与变送器。
这些特性支持快速无缝升级传统微型皮拉尼传感器，无需更改线缆与系统软件即可过渡至新一代产品。
替换传统真空计时，VPM-17 TriCAP™ ATM能在多数场景提供增强性能，其模拟功能还兼容第三方控制器与显示单元。
定制化设置
可根据具体应用需求预配置测量范围、压力单位、设定点参数及输出信号缩放等参数，实现开箱即用。定制产品配有专属料号便于后续采购。
应用领域
VPM-17 TriCAP™专为先进真空工艺的测控设计，适用于工业与科研多领域：
氢能真空
储氢罐及供应管线的绝缘真空监测
半导体
化学气相沉积(CVD)、物理气相沉积(PVD)及前级管线真空测量（可选耐腐蚀陶瓷传感器）
质谱仪
利用其低压测量能力适配质谱设备
PVD镀膜
配备可维护挡板的VPM-17适用于物理气相沉积镀膜场景
真空热处理
热处理过程真空度测控（可选工业级挡板与涂层防护）
空间模拟
太空极端环境模拟中的真空气体压力测量
规格参数
测量范围（mbar）
1E-6 至 1333 mbar（7.5E-7 至 1000 Torr）
测量原理
1E-6 至 1E-3 mbar：MEMS 皮拉尼（Pirani）热导原理
1E-3 至 5E-3 mbar：混合 MEMS 皮拉尼 / CDG
5E-3 至 3.99 mbar：电容膜片规（CDG）
4 至 5.99 mbar：混合 CDG / 压电膜片
6 至 1333 mbar：压电膜片
精度
1E-5 至 9.99E-5 mbar：读数的 25%
1E-4 至 9.99E-3 mbar：读数的 5%
1E-2 至 799 mbar：读数的 0.5%
800 至 1099 mbar：读数的 0.25%
1100 至 1333 mbar：读数的 0.5%
气压测量范围
300 至 1200 mbar
气压测量精度
± 0.5 mbar
相对于大气压力的输出范围
-1333 至 +1333 mbar
滞后（ISO19685:2017）
1E-3 至 10 mbar：1%
10 至 1333 mbar：0.1%
模拟输出分辨率
16 位（150 μV）
模拟输出更新速率
124 Hz
响应时间（ISO19685:2017）
< 20 ms
温度补偿范围
+10 至 +50 °C
固态继电器设定范围
5E-6 至 1333 mbar（3.75E-6 至 1000 Torr）
固态继电器触点额定值
50 V，100 mArms / mADC
固态继电器认证
UL 认证：文件号 E76270
CSA 认证：证书号 1175739
EN/IEC 60950-1 认证
环境条件
工作环境温度
-20 至 +50 °C
介质温度
-20 至 +50 °C
储存环境温度
-20 至 +80 °C
烘烤温度（非工作状态）
+80 °C
最大介质压力(3)
4 bar 绝对压力
安装位置
任意方向 (4)
防护等级（EN 60529/A2:2013）
IP40
湿度（IEC 68-2-38）
98%，无冷凝
电源
供电电压
12-30 VDC
功耗
最大 350 mW
反接保护
是
过压保护
是
内部保险丝
100 mA（可自恢复热保险丝）
材料
外壳
不锈钢 1.4307 / AISI 304L / 铝 6061
真空工艺法兰（接触介质）
不锈钢 1.4401 / AISI 316
接触介质的真空暴露材料（标准版本）
316 不锈钢、Kovar、玻璃、硅、镍、铝、SiO₂、Si₃N₄、Al₂O₃、金、Viton®、低析气环氧树脂、焊料、RO4305、玻璃态石英
接触介质的真空暴露材料（Parylene 保护版本）
316 不锈钢、Viton®、Parylene
接触介质的真空暴露材料（陶瓷保护版本）
316 不锈钢、Viton®、氧化铝陶瓷（Al₂O₃）
工艺密封性
<1·10⁻⁹ mbar·l/s
认证
CE
电磁兼容性（EMC）指令：2014/30/EU
RoHS 合规性：EU 2015/863 指令
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