SENS4,VPM-15 TriCAP™ 传感器,多传感器真空计,VPM-15 TriCAP™ 传感器为各类真空应用树立了全新的一体化宽范围测量标准。其独特之处在于提供经济高效、气体无关的 5.0E-3 至 1333 mbar 测量范围，并结合热损失原理实现低至 1E-6 mbar 的测量。
VPM-15 TriCAP™ 传感器
| 真空 |
超宽测量范围
MEMS 皮拉尼与膜片传感器组合，实现 1.0E-6 至 1333 mbar 的测量范围
耐腐蚀性
可选陶瓷或聚对二甲苯传感器保护
气体无关测量
双膜片传感器，范围 5E-3 至 1333 mbar
CDG 自动调零功能
CDG 自动调零功能无需手动调零
VPM-15 TriCAP™ 传感器为各类真空应用树立了全新的一体化宽范围测量标准。其独特之处在于提供经济高效、气体无关的 5.0E-3 至 1333 mbar 测量范围，并结合热损失原理实现低至 1E-6 mbar 的测量。
在气体成分可能变化的真空应用中，传统依赖气体类型的皮拉尼计可能导致测量偏差。TriCAP™ 传感器采用高精度电容式膜片规（CDG）传感器，消除气体依赖性，即使气体性质变化也能提供精准测量。——重新定义真空测量
VPM-15 TriCAP™ 是一款创新的多传感器真空计，是升级传统皮拉尼计应用的理想选择，也可作为分立式电容规与皮拉尼计的经济型一体化替代方案。
VPM-15 测量范围
CDG 自动调零
集成 MEMS 皮拉尼热损失传感器将测量范围扩展至 1E-6 mbar，并为电容规提供创新的自动调零功能，省去传统电容膜片规常见的手动调零步骤。无需手动按键调零——只需抽真空至自动调零点，CDG 即自动校准并准备就绪。
适用于严苛应用
针对可能接触腐蚀性或活性气体的应用，TriCAP™ 可选配防护涂层作为有效屏障。
TriCAP™ 系列提供陶瓷或聚对二甲苯保护层选项，防止传感器材料腐蚀或氧化。陶瓷具有卓越耐腐蚀性，是电容膜片规真空传感器膜片的可靠材料。聚对二甲苯是一种独特聚合物，兼具优异耐腐蚀性与疏水性，专为医疗应用（如冻干和灭菌）设计。
某些真空工艺中的颗粒可能威胁真空计安全。为此，TriCAP™ 传感器可选配防护挡板阻挡宏观颗粒。结合防护涂层选项，TriCAP™ 专为挑战性真空环境打造。
带防护挡板的 VPM-15 传感器
模拟输出
提供多种模拟输出缩放选项，可模拟其他厂商的真空计与传感器。可选次级模拟输出支持同步监测全范围真空压力与相对于大气压的压力信号。
模拟输出电压为外部读取或控制提供信号。VPM-15 标准配置为 1VDC/十倍频程（mbar、Torr 或 Pascal）电压输出信号。
数字连接
RS-232 和 RS-485 串行接口可将压力与温度测量数据传输至外部设备。
数字接口支持诊断、预测性维护、服务、校准、设定点配置、模拟输出缩放以及实时真空压力测量数据获取，用于屏幕可视化。
可靠设定点继电器控制
三个独立固态开关继电器可用于控制外部设备，如泵、阀门和安全联锁电路。
与机电继电器不同，固态继电器可靠性更高、切换速度更快，且无电弧接触，切换时无电磁干扰（EMI）。
TriCAP™ 继电器经久耐用，通过 UL 认证、CSA 认可及 EN/IEC 60950-1 认证，确保在关键真空过程和高循环应用中控制可靠。
其他厂商兼容性
VPM-15 TriCAP™ 传感器提供引脚兼容性、模拟电压压力信号模拟以及与其他厂商真空传感器和变送器的数字协议模拟功能。
这些模拟特性可快速无缝升级传统微型皮拉尼传感器，无需更改线缆和系统设备软件即可过渡至新一代真空传感器。
替换传统真空计和传感器时，VPM-15 TriCAP™ 能在多数应用中提供增强的测量性能。
其他厂商模拟功能还兼容第三方控制器与显示单元。
测量与控制先进真空工艺
VPM-15 TriCAP™ 专为顶尖真空气体压力测量与控制设计，多种输出选项不仅提供压力测量信号。
应用与市场
VPM-5 SmartPirani™ 专为可靠测量和控制先进真空工艺而设计，适用于工业与科学领域的广泛应用。多样化的 VPM-5 配置可满足不同应用需求。
物理气相沉积 (PVD)
硬质涂层
配备可维护挡板保护的 VPM-5 适用于物理气相沉积 (PVD) 涂层应用，确保使用寿命。
真空热处理应用
熔炉
真空热处理过程中的真空度测量与控制。工业应用可选配挡板与防护涂层。
空间模拟
空间模拟
测试物体脱气可能导致空间模拟过程中气体成分变化。VPM-15 消除皮拉尼计的气体依赖性。
太阳能薄膜
氢储能罐与供应管线的绝缘真空测量与监控。
半导体
化学气相沉积 (CVD)、物理气相沉积 (PVD) 及半导体前级管线真空测量。可选耐腐蚀陶瓷传感器。
质谱仪
利用 VPM-5 的低压测量能力，适用于质谱仪设备。
规格
测量范围（mbar）
1E-6 至 1333 mbar（7.5E-7 至 1000 Torr）
测量原理
1E-6 至 1E-3 mbar：MEMS 皮拉尼热传导原理
1E-3 至 5E-3 mbar：混合 MEMS 皮拉尼/电容膜片表（CDG）
5E-3 至 3.99 mbar：电容膜片表（CDG）
4 至 5.99 mbar：混合 CDG/压电膜片
6 至 1333 mbar：压电膜片
精度
1E-5 至 9.99E-5 mbar：读数的 25%
1E-4 至 9.99E-3 mbar：读数的 5%
1E-2 至 799 mbar：读数的 0.5%
800 至 1099 mbar：读数的 0.25%
1100 至 1333 mbar：读数的 0.5%
滞后（根据 ISO19685:2017 标准）
1E-3 至 10 mbar：1%
10 至 1333 mbar：0.1%
模拟输出分辨率
16 位（150 μV）
模拟输出更新速率
124 Hz
响应时间（根据 ISO 19685:2017 标准）
<20 ms
温度补偿
+10 至 +50 °C
固态继电器设定点范围
5E-6 至 1333 mbar（3.75E-6 至 1000 Torr）
固态继电器触点额定值
50 V，100 mArms / mADC
固态继电器认证
UL 认证：文件编号 E76270
CSA 认证：证书编号 1175739
EN/IEC 60950-1 认证
环境条件
工作环境温度
-20 至 +50 °C
介质温度
-20 至 +50 °C
存储环境温度
-20 至 +80 °C
烘烤温度（非工作状态）
+80 °C
最大介质压力 (3)
4 bar 绝压
安装位置
任意 (4)
防护等级（根据 EN 60529/A2:2013 标准）
IP40
湿度（根据 IEC 68-2-38 标准）
98%，不凝结
电源
供电电压
12-30 VDC
功耗
350 mW（最大值）
反极性保护
是
过电压保护
是
内部熔断器
100 mA（热恢复型）
材料
外壳
SS 1.4307 / AISI 304L / 铝 6061
真空工艺法兰（接触介质）
SS 1.4401 / AISI 316
真空接触材料（接触介质）——标准版本
316 不锈钢，Kovar，玻璃，硅，镍，铝，SiO₂，Si₃N₄，AI₂O₃，金，Viton®，低析气环氧树脂，焊料，RO4305，熔融石英
真空接触材料（接触介质）——Parylene 保护版本
316 不锈钢，Viton®，Parylene
真空接触材料（接触介质）——陶瓷保护版本
316 不锈钢，Viton®，氧化铝陶瓷（AI₂O₃）
工艺泄漏密封性
<1·10⁻⁹ mbar·l/s
认证
CE
EMC 指令 2014/30/EU
RoHS 符合性（指令 EU 2015/863）
https://www.bihec.com/sens4-vacuum-pressure/SENS4,VPM-15 TriCAP™ 传感器,多传感器真空计/
https://zhuanlan.zhihu.com/p/1888637202159878582
