SENS4,VDM-7,DiCAP™ ATM,膜片真空变送器,用于PVD镀膜,真空热处理,采用电容式膜片传感器（CDG），彻底解决传统皮拉尼规的气体依赖性误差,集成大气压参考传感器，精准控制真空系统排气过程,可选防护配置
VDM-7 DiCAP™ ATM 膜片真空变送器
| 真空测量 |
核心特性
▸ 双膜片传感器：5.0E-3~1333 mbar全量程气体无关测量
▸ 耐腐蚀选配：陶瓷/派瑞林涂层防护
▸ 数字模拟接口：支持数字通信/模拟输出/继电器控制
▸ 大气压切换：环境压力参考测量实现精准排气控制
技术优势
• 采用电容式膜片传感器（CDG），彻底解决传统皮拉尼规的气体依赖性误差
• 集成大气压参考传感器，精准控制真空系统排气过程
• 可选防护配置：
- 陶瓷膜片（电容规级耐腐蚀）
- 医用级派瑞林涂层（耐灭菌工艺）
VDM-7 DiCAP™ ATM 膜片真空变送器
技术革新
• 集成大气压传感器技术（源自VPM-7负载锁专用变送器）
• 压电绝对真空传感器+气压传感器复合测量，实现：
- 全量程气体无关检测（5.0E-3~1333 mbar）
- 基于环境压力的相对压力信号输出
- 真空系统排气过程精准控制
严苛环境适配
- 防腐方案：
▶ 陶瓷膜片（电容规级耐腐蚀）
▶ 医用级派瑞林涂层（耐过氧化氢灭菌） - 防颗粒设计：可拆卸挡板防护
测控功能
模拟输出
• 标准1 VDC/十进制输出（mbar/Torr/Pascal可切换）
• 可选第二路模拟输出同步监测全量程真空压及相对大气压
数字接口
RS-232/485支持：
- 实时压力数据可视化
- 远程校准与参数配置
固态继电器
3组UL/CSA认证触点：
- 无电弧/零EMI干扰
- 开关速度比机电继电器快10倍
兼容性设计
- 引脚定义兼容传统微皮拉尼变送器
- 模拟信号/数字协议可仿真主流品牌
应用领域
PVD镀膜：带可维护挡板的镀膜工艺
真空热处理：工业级炉压控制方案
空间模拟：极端环境压力监测
半导体：CVD/PVD工艺真空控制
等离子灭菌：过氧化氢灭菌设备集成方案
规格
测量范围（单位：mbar）
5E-3 至 1333 mbar（3.75E-3 至 1000 Torr）
测量原理
5E-3 至 3.99 mbar
电容膜片真空计（CDG）
4 至 5.99 mbar
混合电容膜片真空计（CDG）/压电膜片
6 至 1333 mbar
压电膜片
精度
5E-3 至 9.99E-3 mbar
读数的 5%
1E-2 至 799 mbar
读数的 0.5%
800 至 1099 mbar
读数的 0.25%
1100 至 1333 mbar
读数的 0.5%
滞后性
1E-3 至 10 mbar（符合 ISO19685:2017）
1%
10 至 1333 mbar（符合 ISO19685:2017）
0.1%
模拟输出分辨率
16 位（150 μV）
模拟输出更新速率
124 Hz
响应时间（符合 ISO 19685:2017）
<20 ms
温度补偿
+10 至 +50 °C
固态继电器设定点范围
5E-6 至 1333 mbar（3.75E-6 至 1000 Torr）
固态继电器触点额定值
50 V，100 mArms / mADC
固态继电器认证
UL 认证：文件号 E76270
CSA 认证：证书号 1175739
EN/IEC 60950-1 认证
环境条件
工作环境温度
-20 至 +50 °C
介质温度
-20 至 +50 °C
储存环境温度
-20 至 +80 °C
烘烤温度（非工作状态）
+80 °C
最大介质压力(3)
4 bar 绝对压力
安装位置
任意(4)
防护等级（EN 60529/A2:2013）
IP40
湿度（IEC 68-2-38）
98%，非冷凝
电源
供电电压
12-30 VDC
功耗
最大 350 mW
反向极性保护
支持
过电压保护
支持
内置保险丝
100 mA（热恢复型）
材料
外壳
SS 1.4307 / AISI 304L / 铝 6061
真空工艺法兰（接触介质）
SS 1.4401 / AISI 316
真空接触材料（接触介质）标准版本
316 不锈钢、Kovar、玻璃、硅、AI₂O₃、金、Viton®、低释气环氧树脂、焊料、RO4305、玻璃态二氧化硅
真空接触材料（接触介质）Parylene 保护版本
316 不锈钢、Viton®、Parylene
真空接触材料（接触介质）陶瓷保护版本
316 不锈钢、Viton®、氧化铝陶瓷（AI₂O₃）
工艺密封性
<1·10⁻⁹ mbar·l/s
认证
CE 认证
EMC 指令 2014/30/EU
RoHS 合规
EU 指令 2015/863
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