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VDM-3 陶瓷膜片真空变送器
| 真空测量 |
基础参数
- 量程范围：0.1~1333 mbar
- 测量原理：陶瓷膜片压阻式（气体类型无关）
- 耐腐蚀性：兼容强酸/有机溶剂
核心功能
- 双传感器复合测量：
- 绝对真空压力测量
- 大气压参考式相对压力测量
- 真空系统排气控制：
- 表压测量模式
- 大气压切换功能
技术优势
- 干式氧化铝陶瓷膜片（无油污风险）
- 可选派瑞林防腐涂层（医疗级疏水材料）
- 防护挡板选配（防颗粒沉积）
- 耐受2 bar绝压（29 psia）瞬时过载
接口与控制
- 模拟输出：支持自定义标定曲线，兼容主流品牌替换
- 数字接口：RS-232/485抗干扰传输
- 固态继电器：3组UL/CSA认证触点（无电弧/零EMI）
兼容性设计
- 引脚定义兼容MKS902B等工业标准
- 模拟输出/数字协议可仿真他厂产品
应用与市场
VDM-3 传感器专为先进的真空工艺的可靠测量和控制而设计，适用于广泛的工业和科研应用。多种型号的 VDM-3 传感器可满足不同应用场景的各种需求。
PVD
PVD镀膜
VPM-5 配备可维护的挡板保护，适用于物理气相沉积（PVD）镀膜应用，并具有较长的使用寿命。
炉内真空应用
工业炉
在真空热处理过程中测量和控制真空。可选配挡板和镀层保护，以满足工业应用需求。
空间模拟
空间模拟
在模拟太空恶劣环境时，测量真空气体压力。
氢气真空
氢气供应
用于测量和监控氢气储存罐和供气管线中的隔热真空。
半导体
半导体行业
在半导体应用中进行 CVD、PVD 和前级真空测量。可选配耐腐蚀陶瓷传感器。
压缩机服务
利用 VPM-5 提供的低压测量能力，用于质谱仪设备。
VDM-3 陶瓷膜片真空变送器技术规格
测量参数
▸ 量程范围：0.1~1333 mbar（0.1~1000 Torr）
▸ 测量原理：陶瓷膜片压阻式
▸ 精度：
- 100~1333 mbar：读数的±0.5%
- 1~99.9 mbar：满量程的±0.05%（基于1333 mbar）
▸ 滞后性（ISO19685:2017）： - 0.1~10 mbar：1%
- 10~1200 mbar：0.1%
电气特性
‖ 模拟输出：
- 分辨率：16位（150 μV）
- 更新率：560 Hz
‖ 响应时间（ISO 19685:2017）：<20 ms
‖ 温度补偿范围：+10~+50°C
固态继电器
◆ 设定点范围：1~1333 mbar（0.75~1000 Torr）
◆ 触点容量：50V/100mA
◆ 认证：
- UL认证（文件号E76270）
- CSA认证（证书号1175739）
- EN/IEC 60950-1认证
环境条件
√ 工作温度：-20~+50°C
√ 介质温度：-20~+50°C
√ 存储温度：-40~+80°C
√ 烘烤温度（非工作状态）：+80°C
√ 最大介质压力：2 bar绝压（29 psia）
√ 爆破压力：4 bar绝压（58 psia）
√ 防护等级（EN 60529/A2:2013）：IP40
√ 湿度（IEC 68-2-38）：98%（无冷凝）
电源
※ 供电电压：12~30 VDC
※ 功耗：≤240 mW
※ 保护功能：
- 反极性保护
- 过压保护
- 100mA自恢复保险丝
材料
► 外壳：SS 1.4307/AISI 304L/铝合金6061
► 真空法兰（接触介质）：SS 1.4401/AISI 316
► 标准版真空接触材料：
316不锈钢/Viton®/氧化铝陶瓷（Al₂O₃）
► 派瑞林保护版：
316不锈钢/Viton®/派瑞林涂层
► 工艺泄漏率：<1×10⁻⁹ mbar·l/s
认证
◇ CE认证：符合EMC指令2014/30/EU
◇ RoHS合规：符合EU 2015/863指令
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