膜片传感器技术
VCM-1变送器采用氧化铝陶瓷传感器膜片，将压力转换为电信号。该传感器采用干式膜片设计，无需油填充。
VCM-1测量范围
陶瓷传感器表面结合316不锈钢法兰和内部Viton®密封，具有优异的耐化学性，兼容各种腐蚀性气体、溶剂和酸。
VCM-1传感器经久耐用，可承受持续振动和从真空到大气压的快速压力变化。每台产品均经过单独测试、校准和温度漂移补偿，校准数据存储在内部非易失性存储器中。
模拟电压输出
提供电压或电流信号用于外部压力读取或控制。VCM-1提供传统模拟输出（如4-20 mA和0-10 VDC）及多种可选数字接口版本。
S4-Connect™编程器
创新的S4-Connect™ USB数字通信接口可访问强大的数字核心，支持通过电源线进行数字通信，无需额外连接引脚。该接口可用于诊断、维护、服务、校准、设定点配置、模拟输出缩放和其他参数定制。产品还具有与行业标准模拟变送器引脚兼容的设计。
过程压力控制与监测
可选设定点可通过固态继电器控制或监测压力，基本控制采用带可编程设定点和滞后值的开关调节。
先进外壳设计
IP67密封的316不锈钢外壳集成疏水膜，专为极端环境设计。创新的湿度控制屏障可在环境压力、温度和湿度波动时防止内部水分积聚和冷凝。表压传感器相对于环境压力测量，疏水膜在天气或海拔变化时提供压力平衡。
定制设置
VCM1变送器可定制配置以满足特定应用需求，开箱即可用于特定设备安装。预配置选项包括测量范围、真空压力单位、设定点配置和输出信号缩放。定制产品将分配唯一料号以便后续订购。
应用与市场
VCM-1专为严苛工业环境设计，提供多种配置以满足不同应用需求。
冷冻干燥
用于制药和食品应用中冷冻干燥系统的粗真空测量与控制。
包装
真空包装过程中的真空压力测量与控制。
前级管路测量
涡轮泵前级管路真空压力的测量与监测保护。
真空热处理炉
真空热处理过程中的真空测量与控制，可选挡板和涂层保护。
手套箱
手套箱系统中确保受控环境的可靠压力控制。
金刚石MOCVD
MOCVD应用中的真空压力测量。
技术规格
测量范围 (mbar)
0.1 至 1333 mbar (0.1 至 1000 Torr)
测量原理
陶瓷膜片压阻式
精度
- 100 至 1333 mbar：读数的 0.5%
- 1 至 99.9 mbar：满量程 (1333 mbar) 的 0.05%
滞后性 (ISO19685:2017)
- 0.1 至 10 mbar：1%
- 10 至 1200 mbar：0.1%
模拟输出
- 分辨率：16 位 (150 μV)
- 更新率：560 Hz
响应时间 (ISO 19685:2017)
<20 ms
温度补偿范围
+10 至 +50 °C
固态继电器设定点范围
1 至 1333 mbar (0.75 至 1000 Torr)
固态继电器触点额定值
50 V, 100 mArms / mADC
固态继电器认证
- UL 认证：文件号 E76270
- CSA 认证：证书号 1175739
- EN/IEC 60950-1 认证
环境条件
工作环境温度
-20 至 +50 °C
介质温度
-20 至 +50 °C
存储环境温度
-40 至 +80 °C
烘烤温度 (非工作状态)
+80 °C
最大介质压力 (3)
2 bar 绝对压力 (29 psia)
爆破压力 (4)
4 bar 绝对压力 (58 psia)
安装位置
任意
防护等级 (EN 60529/A2:2013)
IP40
湿度 (IEC 68-2-38)
98%，无冷凝
电源
供电电压
12-30 VDC
功耗
最大 240 mW
反极性保护
有
过压保护
有
内部保险丝
100 mA (可热恢复)
材料
外壳
SS 1.4307 / AISI 304L / 铝合金 6061
真空工艺法兰 (接触介质)
SS 1.4401 / AISI 316
真空接触材料 (标准版)
316 不锈钢, Viton®, 氧化铝陶瓷 (AI2O3)
真空接触材料 (派瑞林保护版)
316 不锈钢, Viton®, 派瑞林
工艺泄漏率
<1·10-9 mbar·l/s
认证
CE
EMC 指令 2014/30/EU
RoHS 合规
指令 EU 2015/863
备注
(1) 精度规格为稳定温度下归零后的典型值。
(2) Viton® 是 THE CHEMOURS COMPANY FC, LLC 的商标。
(3) 过压限制仅适用于使用符合规格的接头时。
(4) 爆破压力为传感器膜片不破裂的最大压力。
规格如有变更，恕不另行通知。
