SENS4,VDM-2,陶瓷膜片真空变送器,PVD镀膜,真空热处理炉,VDM-2采用耐腐蚀氧化铝膜片，通过压阻原理测量压力形变。相比油浸式钢制压电变送器，干式陶瓷传感器彻底消除真空系统污染风险
VDM-2 陶瓷膜片真空变送器
| 真空测量 |
0.1至1333 mbar量程
陶瓷膜片传感器实现气体类型无关测量
耐腐蚀特性
兼容多种酸类和溶剂
多模式控制
模拟/数字接口及过程控制继电器
即插式替换
引脚与输出兼容其他厂商钢制压电变送器
VDM-2采用耐腐蚀氧化铝膜片，通过压阻原理测量压力形变。相比油浸式钢制压电变送器，干式陶瓷传感器彻底消除真空系统污染风险，可作为1000 Torr/mbar量程电容规（CDG）的经济替代方案。
严苛环境适配
- 标配氧化铝陶瓷膜片耐酸碱腐蚀
- 可选派瑞林涂层（医用级疏水防腐材料）
- 防护挡板可选配（防颗粒物沉积）
- 耐受2 bar绝压（29 psia）瞬时过压
测控功能
模拟输出
支持自定义线性标定，兼容多品牌仪表替换
数字接口
RS-232/485抗干扰传输，具备：
- 实时数据可视化
- 100 Torr量程模拟输出时，数字接口仍保持1333 mbar全量程
固态继电器控制
3组UL/CSA/EN认证继电器，特点：
- 无电弧/无电磁干扰
- 开关速度比机电继电器快10倍
兼容性设计
- 引脚定义兼容MKS902B等主流型号
- 模拟输出曲线可编程模拟他厂产品
- 数字协议仿真实现控制系统无缝对接
应用领域
PVD镀膜
带可维护挡板的长效镀膜解决方案
真空热处理炉
可选挡板/涂层防护的工业级应用
规格
测量范围（mbar）
0.1 至 1333 mbar（0.1 至 1000 Torr）
测量原理
陶瓷膜片压阻式
精度（100 至 1333 mbar）
读数的 0.5%
精度（1 至 99.9 mbar）
满量程（1333 mbar）的 0.05%
滞后（0.1 至 10 mbar）（ISO19685:2017）
1%
滞后（10 至 1200 mbar）（ISO19685:2017）
0.1%
模拟输出分辨率
16 位（150 μV）
模拟输出更新率
560 Hz
响应时间（ISO 19685:2017）
<20 ms
温度补偿
+10 至 +50 °C
固态继电器设定范围
1 至 1333 mbar（0.75 至 1000 Torr）
固态继电器触点额定值
50 V，100 mArms / mADC
固态继电器认证
UL 认证：文件号 E76270
CSA 认证：证书号 1175739
EN/IEC 60950-1 认证
环境条件
工作环境温度
-20 至 +50 °C
介质温度
-20 至 +50 °C
储存环境温度
-40 至 +80 °C
烘烤温度（非工作状态）
+80 °C
最大介质压力(3)
2 bar 绝压（29 psia）
爆破压力(4)
4 bar 绝压（58 psia）
安装位置
任意
防护等级（EN 60529/A2:2013）
IP40
湿度（IEC 68-2-38）
98%，非冷凝
电源
电源电压
12-30 VDC
功耗
最大 240 mW
反极性保护
是
过压保护
是
内部保险丝
100 mA（可自动恢复的热保险丝）
材料
外壳
不锈钢 1.4307 / AISI 304L / 铝合金 6061
真空工艺法兰（与介质接触）
不锈钢 1.4401 / AISI 316
真空暴露材料（与介质接触）标准版本
316 不锈钢，Viton®，氧化铝陶瓷（Al₂O₃）
真空暴露材料（与介质接触）Parylene 保护版本
316 不锈钢，Viton®，Parylene
工艺泄漏密封性
<1·10⁻⁹ mbar·l/s
认证
CE 认证
符合 EMC 指令 2014/30/EU
RoHS 合规性
符合指令 EU 2015/863
https://www.bihec.com/sens4-vacuum-pressure/SENS4,VDM-2,陶瓷膜片真空变送器,PVD镀膜,真空热处理炉/
https://zhuanlan.zhihu.com/p/1888637202159878582
