SENS4,VPM-7-10202132,真空变送器,MEMS皮拉尼真空传感器,压阻式绝对压力传感器,环境大气压参考传感器,负载锁专用气压切换控制,三模输出
VPM-7 真空变送器技术规格
型号标识：VPM-7-10202132
基础参数
▸ 物料编号：VPM-7-10202132
▸ 不含税价格：575欧元
▸ 标准交期：1-4个工作日
硬件配置
‖ 真空法兰接口：DN16KF标准
‖ 数字通信协议：RS-485工业总线
‖ 模拟输出标准：MKS900兼容信号
‖ 压力显示单位：torr（支持mbar切换）
‖ 控制继电器组：3组独立开关量
‖ 电气接口形式：15针高密度D-Sub
传感系统
◆ 复合传感器架构：
- MEMS皮拉尼真空传感器
- 压阻式绝对压力传感器
- 环境大气压参考传感器
◆ 技术指标：
√ 测量带宽：1×10⁻⁶~1333 mbar（9个数量级）
√ 气体类型无关性：2 mbar以上全量程自适应
√ 防护等级：标准工业级
核心功能
① 负载锁专用气压切换控制
② 三模输出：
- RS-485数字通信
- MKS900模拟信号
- 3路继电器控制
③ 半导体工艺级测量精度
https://www.bihec.com/sens4-vacuum-pressure/SENS4,VPM-7-10202132,真空变送器/
https://zhuanlan.zhihu.com/p/1888637202159878582
