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丹麦SENS4 VPM-7 SmartPirani™ ATM 系列真空传感器
VPM-7 SmartPirani™ ATM Transducer
VPM-7 smart pirani ATM该传感器设计用于半导体负载锁定精密压力控制和其他真空应用，在这些应用中，相对于大气环境压力的精确压力测量非常重要。
它提供了同类最佳的性能，测量范围更广，精度更高，测量周期比传统产品更快装载锁传感器和其他负载锁定传感器解决方案。
SmartPirani™ATM通过将热导皮拉尼热损失真空计的可用测量范围延长1-30年，建立了新的标准。
丹麦SENS4 VPM-7 SmartPirani™ ATM 系列真空传感器订货号：
DN16KF法兰系列
VCR4F法兰法兰系列
装载锁是一种真空室，用于将器件如半导体晶片从环境气压装载到真空处理室中。装载锁通常在大气压和将晶片转移到处理室所需的适当真空水平之间循环。负载锁定装置内的精确压力控制对于防止环境空气和微粒污染、保护腔室和晶片至关重要。
测量和控制负载锁定过程
VPM-7 SmartPirani ATM专为测量和控制真空气体压力而设计。多个输出选项不仅仅提供压力测量信号。
可靠的设定点继电器控制
三个独立的固态开关继电器允许负载锁定压力循环的外部控制，包括泵、阀门、安全联锁电路、PLC和其他设备。 与机电继电器不同，固态继电器具有更高的可靠性和更快的切换时间，无电弧接触，在切换过程中不会产生EMI(电磁干扰)。 SmartPirani ATM继电器经久耐用，通过UL认证、CSA认证和EN/IEC 60950-1认证，确保在关键真空过程和高循环应用中的可靠性能。
模拟输出
模拟输出电压为外部监测或控制提供信号。VPM-7为毫巴、托或帕斯卡提供每十倍频程1 VDC的标准电压输出。 此外，它可以由用户配置或预配置各种其他模拟输出选项，允许无缝替换其他制造商的压力表。
数字接口
RS-232和RS-485串行接口便于将压力和温度测量数据传输到外部设备。
该数字接口支持诊断、预测性维护、维修、校准、设定点配置、模拟输出缩放，以及用于屏幕可视化的真空压力测量的实时采集。
耐腐蚀传感器
通常，装载锁装置是干净的，没有腐蚀性气体。然而，可选的耐腐蚀传感器使VPM-7 SmartPirani ATM能够在存在腐蚀性化学物质或残留蚀刻气体的应用中使用。
陶瓷是一种高度耐腐蚀的材料，通常用于电容式隔膜真空计中的真空传感器隔膜。
聚对二甲苯是一种独特的聚合物，以其强耐腐蚀性和疏水性而闻名。
其他供应商插件兼容性
VPM-7 SmartPirani ATM传感器可作为传统真空传感器的替代产品。
引脚兼容性、模拟电压压力信号仿真以及与其他供应商的真空传感器和变送器的数字协议仿真。
这些仿真功能可以快速、无缝地升级传统的wire Pirani传感器、对流规和传统的micro-Pirani传感器，允许在不改变布线和系统设备软件的情况下过渡到下一代真空传感器。
VPM-7 SmartPirani ATM将在许多应用中取代传统的真空规和传感器，从而降低成本并提高测量性能。
自定义设置
VPM-7 SmartPirani ATM传感器可以定制，以满足特定的应用要求，使其可以立即用于特定的设备设置。预配置选项包括测量范围、真空压力单位、设定点配置和输出信号缩放。
定制单元被分配一个唯一的零件号，以便将来重新订购。
丹麦SENS4 VPM-7 SmartPirani™ ATM 系列真空传感器应用与市场：
VPM-7 SmartPirani ATM专为先进真空过程的可靠测量和控制而设计，适用于负载锁定系统的压力控制。有多种VPM-7配置可供选择，以满足不同行业和应用的不同要求。
