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丹麦SENS4 VDM-2 系列 陶瓷膜片传感器
VDM-2 Ceramic Diaphragm Transducer
VDM-2陶瓷隔膜真空传感器基于耐腐蚀的氧化铝隔膜，该隔膜随着施加的压力而弯曲。核心压力传感器元件利用压阻测量。膜片传感器测量真空气体压力，与气体类型或成分无关。
与通常使用充油传感器元件的不锈钢压电真空传感器相比，陶瓷压电传感器元件清洁干燥，消除了污染真空系统的风险。
丹麦SENS4 VDM-2 系列 陶瓷膜片传感器规格参数：
规范 | |
| 测量范围，单位为毫巴 | 0.1至1333毫巴(0.1至1000托) |
| 测量原理 | 陶瓷膜片压阻 |
| 精度100至1333毫巴 | 读数的0.5% |
| 精度1至99.9毫巴 | 满量程的0.05%(1333毫巴) |
| 滞后0.1至10毫巴(ISO19685:2017) | 1% |
| 滞后10至1200毫巴(ISO19685:2017) | 0.1% |
| 模拟输出分辨率 | 16位(150 μV) |
| 模拟输出更新速率 | 560赫兹 |
| 响应时间(ISO 19685:2017) | <20 ms |
| 温度补偿 | +10至+50摄氏度 |
| 固态继电器设定点范围 | 1至1333毫巴(0.75至1000托) |
| 固态继电器触点额定值 | 50伏，100毫安/兆周 |
| 固态继电器认证 | UL认可:文件E76270 CSA认证:证书1175739 EN/IEC 60950-1认证 |
| 环境条件 | |
| 工作环境温度 | -20至+50摄氏度 |
| 介质温度 | -20至+50摄氏度 |
| 储存环境温度 | -40至+80摄氏度 |
| 烘烤温度(非运行) | +80摄氏度 |
| 最大介质压力(3) | 2巴绝对压力(29 psia) |
| 爆破压力(4) | 4巴绝对压力(58 psia) |
| 安装位置 | 武断的 |
| 防护等级，EN 60529/A2:2013 | IP40 |
| 湿度，IEC 68-2-38 | 98%，非冷凝 |
| 电源 | |
| 电源电压 | 12-30伏直流电 |
| 功率消耗 | 240 mW(最大值) |
| 反极性保护 | 是 |
| 过电压保护 | 是 |
| 内部保险丝 | 100毫安(热恢复) |
| 材料 | |
| 外壳 | 不锈钢1.4307 / AISI 304L /铝6061 |
| 真空工艺法兰(介质润湿) | SS 1.4401 / AISI 316 |
| 真空暴露材料(介质润湿)标准版本 | 316不锈钢、氟橡胶、氧化铝陶瓷(AI2O3) |
| 真空暴露材料(介质润湿)聚对二甲苯保护版 | 316不锈钢、氟橡胶、聚对二甲苯 |
| 过程密封性 | <1·10-9 mbar·l/s |
丹麦SENS4 VDM-2 系列 陶瓷膜片传感器主要特征：
电容式隔膜真空计的替代品
电容式隔膜真空计在许多真空应用中用于先进过程的测量和控制。VDM-2传感器是传统1000托/毫巴满量程电容膜片规(cdg)的一种经济高效的紧凑型替代产品。
专为恶劣环境设计
VDM-2可用于可能存在腐蚀性气体和化合物的高要求真空应用中。陶瓷氧化铝隔膜对许多溶剂和酸具有优异的耐腐蚀性能。
VDM-2传感器还可选配聚对二甲苯保护屏障，防止传感器材料腐蚀或氧化。聚对二甲苯是一种独特的聚合物，具有高度的耐腐蚀性和疏水性，专门设计用于医疗应用，如医疗器械的冻干和过氧化氢等离子体灭菌。
在存在宏观颗粒的真空系统和过程中，可选的保护挡板可有效防止污染物沉积在传感器隔膜上。
氧化铝传感器元件设计坚固，能够承受瞬间通风和高达2巴绝对压力(29 psia)的过压。
测量和控制先进的真空过程
VDM-2传感器具有极佳的性价比，可用于监视和
在许多工业和科学应用中测量前端真空压力。
通过模拟和数字输出，VDM-2为各种真空控制应用提供了灵活性和精确性。
模拟电压输出
模拟输出为外部压力读数或控制提供电压信号。
VDM-2传感器可提供许多不同的预配置模拟输出曲线，用于无缝替换不同供应商的压力表。
此外，用户可以将输出配置为任意线性比例。
数字接口
RS-232和RS-485串行接口有助于传输测量数据，在较长的电缆长度上不会出现信号衰减或电气噪声干扰。 数字接口支持诊断、预测性维护、服务、校准、设定点配置、模拟输出缩放和实时真空压力测量的采集，用于屏幕可视化。 当模拟输出设置为缩小的测量范围时，如100托满量程，数字输出独立提供高达1333毫巴(1000托)的满量程测量。
鲁棒设定点继电器控制
三个独立的固态开关继电器可用于泵、阀门、安全联锁电路和其他外部设备的外部控制。 与机电继电器相比，固态继电器具有更高的可靠性和更快的切换时间，同时提供无电弧接触，在切换时不会产生EMI(电磁干扰)。 VDM-2继电器的设计经久耐用，通过了UL认证、CSA认证和EN/IEC 60950-1认证，用于控制关键的真空过程和高循环应用时具有最大的可信度。
其他供应商兼容性
插入式替换真空传感器的设计具有连接器引脚兼容性，能够无缝替换其他供应商的压力表，而无需更改布线。 此外，这些传感器模拟其他制造商的等效产品的模拟输出比例和范围。 此外，Sens4传感器能够模拟数字串行通信协议，便于安装，无需调整真空设备的通信软件。这种数字协议仿真确保了与不同供应商的电源和控制器显示单元的兼容性。
自定义设置
VDM-2传感器可以通过定制配置交付，以满足特定的应用要求，并适用于开箱即用的特定设备安装。预配置选项的示例包括测量范围、真空压力单位、设定点配置和输出信号缩放。
定制产品将被分配一个唯一的零件号，以便将来简单直接地重新订购。
丹麦SENS4 VDM-2 系列 陶瓷膜片传感器应用与市场：
VDM-2陶瓷膜片传感器设计用于先进真空过程的可靠测量和控制，适用于工业和科学领域的广泛应用。有多种VPM-5配置可供选择，以满足各种应用的不同要求。
