进口代理 SENS4  VPM-7-20202133真空传感器、SENS4  真空传感器、 VPM-7系列真空传感器、SENS4真空变送器

进口代理 SENS4  VPM-7-20202133真空传感器SENS4  真空传感器VPM-7系列真空传感器SENS4真空变送器

 

SENS4 VPM-7 SmartPirani™ ATM 系列真空传感器

VPM-7 SmartPirani™ ATM真空传感器专为半导体设备的负载锁定精密压力控制以及其他需要精确测量压力值的真空应用而设计;在这些应用中,相对于大气压的准确压力值显得尤为重要。

与传统的负载锁定传感器及其他负载锁定检测方案相比,它具有更出色的性能:测量范围更广、精度更高,测量速度也更快。2<#>

SmartPirani™ ATM通过大幅扩展皮拉尼式热导率真空计的测量范围,为这一领域树立了新的标准;其测量范围的扩展幅度达到了10到30倍。

SENS4 VPM-7 SmartPirani™ ATM 系列真空传感器货号:

DN16KF系列

VPM-7-10101232

  • DN16KF法兰
  • 标准传感器
  • RS-232接口
  • 标准模拟输出
  • 毫巴
  • 3个设定点继电器
  • 15针高清D型接口

VPM-7-10201232

  • DN16KF法兰
  • 标准传感器
  • RS-485接口
  • 标准模拟输出
  • 毫巴
  • 3个设定点继电器
  • 15针高清D型接口

VPM-7-10102132

  • DN16KF法兰
  • 标准传感器
  • RS-232接口
  • 标准模拟输出
  • 托尔
  • 3个设定点继电器
  • 15针高清D型接口

VPM-7-10202132

  • DN16KF法兰
  • 标准传感器
  • RS-485接口
  • 标准模拟输出
  • 托尔
  • 3个设定点继电器
  • 15针高清D型接口

VCR4F系列

VPM-7-40101232

  • VCR4F法兰
  • 标准传感器
  • RS-232接口
  • 毫巴
  • 标准模拟输出
  • 3个设定点继电器
  • 15针高清D型接口

VPM-7-40101232

  • VCR4F法兰
  • 标准传感器
  • RS-485接口
  • 毫巴
  • 标准模拟输出
  • 3个设定点继电器
  • 15针高清D型接口

VPM-7-40102132

  • VCR4F法兰
  • 标准传感器
  • RS-232接口
  • 托尔
  • MKS 900模拟输出型产品
  • 3个设定点继电器
  • 15针高清D型接口

VPM-7-40202132

  • VCR4F法兰
  • 标准传感器
  • RS-485接口
  • 托尔
  • MKS 900模拟输出型产品
  • 3个设定点继电器
  • 15针高清D型接口

一体化多传感器传感器解决方案

VPM-7是一种真正意义上的多传感器传感器,它具备四种压力检测功能:一种用于检测大气压力的传感器,一种用于检测热量损失的Pirani传感器,一种用于提供绝对压力的隔膜传感器,以及一种用于检测与大气压力相对的压力的传感器。这些传感器共同作用,从而实现现代负载锁定式真空室中精确的压力控制。隔膜传感器能够提供精确的、与气体种类无关的绝对压力读数,其测量范围为2至1333毫巴(1.5至1000托)。

VPM-7 range

负载锁是一种真空室,用于将半导体晶圆等器件从常压环境转移到真空处理室中。负载锁通常会在大气压与处理室所需的真空度之间进行切换。在负载锁内部实现精确的压力控制至关重要,这有助于防止外部空气中的污染物及微粒对晶圆造成污染,从而保护真空室及晶圆本身。

测量与控制负载锁定过程

VPM-7 SmartPirani™ATM专为实现卓越的真空气体压力测量与控制而设计。其多种输出选项不仅能够提供压力测量数据,还具有更多实用功能。

Typical semiconductor load-lock pressure cycle profile

可靠的设定点继电器控制系统

这三个独立的固态开关继电器可以实现对负载锁定压力循环的远程控制,从而控制泵、阀门、安全联锁装置、PLC以及其他相关设备的工作。

与机电继电器不同,固态继电器具有更高的可靠性以及更快的切换速度;其触点在切换过程中不会产生电弧,也不会产生电磁干扰。

SmartPirani™ ATM中继器具有出色的耐用性,同时通过了UL认证、CSA认可,以及EN/IEC 60950-1标准认证。因此,它们能够在各种高要求的环境中稳定运行,特别适合用于真空处理设备以及需要频繁使用的应用场景。

Solid state setpoint relay control for load-lock venting controlling

模拟输出

模拟输出电压可用于外部监测或控制。VPM-7可提供标准电压输出信号:每增加一个数量级,输出电压为1伏特直流电,适用于测量单位为毫巴、托或帕斯卡的情况。

此外,它还支持用户自行配置或预先设置多种模拟输出选项,从而可以轻松替换其他制造商生产的仪表。

VPM-7 Analog Voltage Output

数字接口技术

RS-232和RS-485串行接口能够方便地将压力及温度测量数据传输到外部设备。

该数字接口支持故障诊断、预测性维护、设备维护、校准、设定值配置、模拟输出信号的缩放处理,以及实时采集真空压力数据并将其显示在屏幕上。

耐腐蚀传感器

通常,负载锁定装置所处的环境较为清洁,且不存在腐蚀性气体。不过,通过使用防腐蚀传感器,VPM-7 SmartPirani™ ATM仍可以在存在腐蚀性化学物质或残留蚀刻气体的环境中正常使用。

陶瓷是一种具有极强耐腐蚀性的材料,常被用于电容式压力表的真空传感器膜片。

聚对二甲苯是一种独特的聚合物,以其出色的耐腐蚀性和疏水性而闻名。

与其他供应商产品的兼容性 

VPM-7 SmartPirani™ ATM传感器可作为传统型负载锁定式真空传感器的替代产品直接使用。

该产品能够与其他厂商生产的真空传感器及发射器实现引脚兼容性、模拟电压/压力信号的仿真功能,以及数字协议的仿真功能。

这些仿真功能使得传统有线式皮拉尼传感器、对流式测量仪以及旧款微型皮拉尼传感器能够快速、无缝地升级为新一代真空传感器,从而无需更换电缆或系统设备软件即可实现升级。

VPM-7 SmartPirani™ATM在替代传统的负载锁定式真空计和传感器时,能够在许多应用中显著降低成本并提升测量精度。

自定义设置

VPM-7 SmartPirani™ ATM传感器可以根据具体应用需求进行定制,从而可以直接用于各种设备中。其预配置的功能选项包括测量范围、真空压力单位、设定值配置以及输出信号的比例调整等。

为这些定制产品分配了唯一的部件编号,以便日后能够更方便地重新订购。

应用与市场

VPM-7 SmartPirani™自动真空计专为精确测量及控制各种先进的真空工艺而设计,非常适合用于负载锁定系统的压力控制。该产品提供了多种不同的配置选项,能够满足不同行业及应用场景的需求。


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