丹麦SENS4 A/S VPM-15 TriCAP™ 多传感器真空计、真空传感器、SENS4真空传感器、进口代理SENS4
SENS4 A/S VPM-15 TriCAP™ 多传感器真空计
VPM-15 TriCAP™ Vacuum Transducer
VPM-15 TriCAP传感器为各种真空应用建立了一体化宽量程测量解决方案的新标准。它从其他真空计中脱颖而出,提供了从5.0E-3到1333 mbar的具有成本效益的、与气体无关的测量,结合了使用热损失原理的低至1E-6 mbar的测量。
在气体成分或类型可能改变的真空应用中,传统的依赖气体的皮拉尼压力计可能导致测量值与实际压力的偏差。TriCAP传感器采用精密电容膜片规(CDG)传感器,消除了气体依赖性,即使气体性质发生变化,也能提供精确的测量。
反思真空测量
VPM-15 TriCAP是一款创新的多传感器真空计,是提升传统皮拉尼真空计应用性能的理想选择,也是使用独立电容压力计和皮拉尼真空计应用的成本优化一体化解决方案。
CDG自动调零
集成的热损耗MEMS Pirani传感器将测量范围扩展到1E-6 mbar,并为电容压力计提供创新的自动调零功能,消除了传统电容膜片规中常见的手动调零需求。无需手动按钮调零——只需将泵压至自动调零点,自动CDG就会自动调整并随时可用。
支持在要求苛刻的应用中使用
对于传感器可能遇到腐蚀性或侵蚀性气体的应用,TriCAP提供保形保护涂层,作为有效的屏障。
TriCAP传感器系列提供可选的陶瓷或聚对二甲苯保护层,防止传感器材料腐蚀或氧化。陶瓷具有很强的抗腐蚀性,是电容式隔膜真空计中真空传感器隔膜的可靠材料。聚对二甲苯是一种独特的聚合物,具有优异的耐腐蚀性和疏水性,专为医疗应用而设计,包括冻干和灭菌。
在某些真空工艺中,微粒会对真空计造成风险。对于这些应用,TriCAP传感器配有保护挡板,可屏蔽肉眼可见的颗粒。结合保护涂层选项,TriCAP传感器专为具有挑战性的真空环境而设计。
模拟输出
有多种模拟输出缩放选项可供选择,以模拟其他供应商的真空计和传感器。一个可选的二级模拟输出能够对全量程真空压力和相对于大气压力的压力信号进行外部监控
模拟输出电压为外部读出或控制提供信号。VPM-15提供的标准电压输出信号为1 VDC/10 mbar、Torr或Pascal。
连接数字
RS-232和RS-485串行接口可用于向外部设备传输压力和温度测量数据。
数字接口支持诊断、预测性维护、服务、校准、设定点配置、模拟输出缩放,以及用于屏幕可视化的实时真空压力测量的采集。
可靠的设定点继电器控制
三个独立的固态开关继电器可用于控制外部设备,如泵、阀门和安全联锁电路。
与机电继电器不同,固态继电器具有更高的可靠性和更快的开关速度,在开关过程中无电弧接触,无EMI(电磁干扰)。
TriCAP继电器专为耐用性而设计,通过了UL认证、CSA认证和EN/IEC 60950-1认证,确保对关键真空过程和高循环应用的控制具有高度信心。
其他供应商兼容性
VPM-15 TriCAP传感器具有引脚兼容性、模拟电压压力信号仿真以及与其他供应商的真空传感器和变送器的数字协议仿真。
这些仿真功能可实现传统micro-Pirani传感器的快速、无缝性能升级,允许在不改变布线和系统设备软件的情况下过渡到下一代真空传感器。
当取代传统的真空计和传感器时,VPM-15 TriCAP将在许多应用中提供增强的测量性能。
其他供应商仿真还提供了与其他供应商的控制器和显示单元的兼容性。
测量和控制先进的真空过程
VPM-15 TriCAP专为测量和控制真空气体压力而设计。多个输出选项不仅仅提供压力测量信号。
应用与市场
VPM-5 SmartPirani专为先进真空过程的可靠测量和控制而设计,适用于工业和科学领域的广泛应用。有多种VPM-5配置可供选择,以满足各种应用的不同要求。
SENS4 A/S VPM-15 TriCAP™ 多传感器真空计规格参数:
规范 | |
测量范围,单位为毫巴 | 1E-6至1333毫巴(7.5E-7至1000托) |
测量原理1E-6至1E-3毫巴 | MEMS皮拉尼热导率 |
测量原理1E-3至5E-3毫巴 | 混合MEMS皮拉尼/ CDG |
测量原理5E-3至3.99毫巴 | 电容式隔膜真空计(CDG) |
测量原理4至5.99毫巴 | 混合CDG /压电膜片 |
测量原理6至1333毫巴 | 压电膜片 |
精度1E-5至9.99E-5毫巴 | 阅读量的25% |
精度1E-4至9.99E-3毫巴 | 阅读量的5% |
精度1E-2至799毫巴 | 读数的0.5% |
精度800至1099毫巴 | 读数的0.25% |
精度1100至1333毫巴 | 0.5%读数 |
滞后1E-3至10毫巴(ISO19685:2017) | 1% |
滞后10至1333毫巴(ISO19685:2017) | 0.1% |
模拟输出分辨率 | 16位(150 μV) |
模拟输出更新速率 | 124赫兹 |
响应时间(ISO 19685:2017) | <20 ms |
温度补偿 | +10至+50摄氏度 |
固态继电器设定点范围 | 5E-6至1333毫巴(3.75E-6至1000托) |
固态继电器触点额定值 | 50伏,100毫安/兆周 |
固态继电器认证 | UL认可:文件E76270 CSA认证:证书1175739 EN/IEC 60950-1认证 |
环境条件 | |
工作环境温度 | -20至+50摄氏度 |
介质温度 | -20至+50摄氏度 |
储存环境温度 | -20至+80摄氏度 |
烘烤温度(非运行) | +80摄氏度 |
最大介质压力(3) | 4巴绝对压力 |
安装位置 | 任意(4) |
防护等级,EN 60529/A2:2013 | IP40 |
湿度,IEC 68-2-38 | 98%,非冷凝 |
电源 | |
电源电压 | 12-30伏直流电 |
功率消耗 | 350 mW(最大值) |
反极性保护 | 是 |
过电压保护 | 是 |
内部保险丝 | 100毫安(热恢复) |
材料 | |
围场 | 不锈钢1.4307 / AISI 304L /铝6061 |
真空工艺法兰(介质润湿) | SS 1.4401 / AISI 316 |
真空暴露材料(介质润湿)标准版本 | 316不锈钢、可伐合金、玻璃、硅、镍、铝、二氧化硅、Si3N4、AI2O3、金、氟橡胶、低排气环氧树脂、焊料、RO4305、玻璃质二氧化硅 |
真空暴露材料(介质润湿)聚对二甲苯保护版 | 316不锈钢、氟橡胶、聚对二甲苯 |
真空暴露材料(介质润湿)陶瓷保护版本 | 316不锈钢、氟橡胶、氧化铝陶瓷(AI2O3) |
过程密封性 | <1·10-9 mbar·l/s |