氧化铝涂层蒸发源
氧化铝涂层蒸发源是为替代某些特定应用中的氧化铝坩埚蒸发舟而研发的。此类蒸发源的优势在于，氧化铝（AO）具有良好的热传导性，且对大多数金属呈现惰性。此外，蒸镀材料不会润湿氧化铝层，因此材料熔化时蒸发舟的电阻不会发生变化。基于氧化铝的非润湿特性，熔化的蒸镀材料会形成球体，从而实现点源蒸发。
氧化铝特性
相比无保护层的蒸发源，此类蒸发源使用寿命更长。由于热传导性能的差异，涂层蒸发源需要增加30%-50%的功率以实现有效蒸发。半导体级氧化铝通过等离子喷涂技术涂覆于蒸发舟/蒸发篮表面。应避免温度超过1850°C；当蒸发作用产生时，需略微降低功率以防止过热。
带氧化铝阻隔层的钨/钼蒸发舟
此类蒸发源兼具难熔金属蒸发舟与陶瓷阻隔层的双重优势。蒸发舟底部暴露的金属区域确保蒸镀材料与热源充分接触，而氧化铝阻隔层则能防止蒸镀材料向散热区蔓延或完全润湿整个蒸发舟。
蒸发源产品
氧化铝涂层蒸发源
SiO及ZnS用挡板盒式蒸发源
蒸发舟与加热器
镀铬钨杆与钨网
坩埚与电子束内衬
折叠挡板盒式蒸发源
折叠蒸发舟
微电子蒸发源
点源灯丝
屏蔽式坩埚加热器
钽制特殊蒸发舟
钨灯丝
钨、钽、钼蒸发舟源
