美国RD Mathis 微电子蒸发源 小型蒸发源 氧化铝涂层微电子蒸发源

微电子蒸发源

我们的微电子型蒸发源包含完整系列的小型蒸发源产品线,其设计与产品目录中的标准尺寸蒸发源类似。此类蒸发源的总长度大多略小于2英寸。这种小型蒸发源特别适用于低功率系统或仅需少量蒸发材料的工艺。

定制加工

所示图片仅供参考。实际产品的外观可能因所选线材类型而异。各部件可用的线材类型均标注于部件编号后缀中。例如:

  • ME11-.030W 表示采用单股直径0.030英寸的钨丝制成;

  • ME11-3X.025W 表示采用三股直径0.025英寸的钨丝绞合制成。

氧化铝涂层微电子蒸发源

此类蒸发源也可提供氧化铝涂层版本。

蒸发源产品

  • 氧化铝涂层蒸发源

  • SiO及ZnS用挡板盒式蒸发源

  • 蒸发舟与加热器

  • 镀铬钨杆与钨网

  • 坩埚与电子束内衬

  • 折叠挡板盒式蒸发源

  • 折叠蒸发舟

  • 微电子蒸发源

  • 点源灯丝

  • 屏蔽式坩埚加热器

  • 钽制特殊蒸发舟

  • 钨灯丝

  • 钨、钽、钼蒸发舟源


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