氧化铝涂层光源

为了满足某些特定应用需求，人们开发出了涂有氧化铝的蒸发源，用以替代传统的氧化铝坩埚。这种蒸发源具有诸多优点：氧化铝具有良好的热传导性能，并且对大多数金属都具有惰性；此外，被蒸发的物质不会弄湿氧化铝表面，因此材料熔化时坩埚的电阻也不会发生变化。由于氧化铝具有不润湿的特性，被蒸发的物质在熔化后会形成球状，从而构成一个点状蒸发源。

氧化铝的特性

与未经防护的蒸发源相比，这种类型的蒸发源具有更长的使用寿命。由于热传导性能的不同，经过涂层处理的蒸发源在实现蒸发过程时所需的功率会增加30%到50%。半导体级氧化铝是通过等离子喷涂技术涂覆在蒸发器上的。应避免使用1850°C这样的高温；如果蒸发过程受到影响，则应适当降低功率以防止过热现象的发生。

带有氧化铝屏障的钨钼合金舟皿

这种加热源的设计结合了耐热金属炉腔和陶瓷隔层的优点。炉腔底部暴露的金属表面使得蒸发物质能够与加热源保持良好的热接触；而氧化铝隔层则能防止蒸发物质向散热器蔓延，或使整个炉腔被液体浸湿。