隔挡盒蒸发源
R. D. Mathis 公司的隔挡盒蒸发源已被证明是一种极为成功的沉积一氧化硅（SiO）的方法。源材料置于盒内独立的腔体中；加热后，材料会通过一系列隔挡板沿着迂回路径移动，最终从排气烟囱逸出。基板在任何时候都无法直接看到块状材料，这从根本上消除了由喷溅或流动引起的针孔型缺陷的可能性。
定向沉积
所示的蒸发源中，许多均可提供向上、向下或水平方向的排气口，以实现定向沉积。如需根据特定工艺需求进行定制制造或提供更大容量的蒸发源，欢迎垂询。
SiO 与 ZnS 应用
如需了解热蒸发技术及沉积一氧化硅的相关文献，请参考 Halex 公司的 Earl Olson 和 R. D. Mathis 共同撰写的论文《使用多隔挡盒蒸发源进行一氧化硅蒸发》，该文献可应要求提供。
SM蒸发源示意图
SiO 和 ZnS 示意图
SM-8
SM-10 隔挡盒
SM-12蒸发源
SM-14蒸发源
SM-16蒸发源
SO-10蒸发源
SO-20蒸发源
SO-22蒸发源
SO-24蒸发源
SO-25蒸发源
SO-26蒸发源
双层屏蔽 SiO / ZnS 蒸发源
大容量 SiO / ZnS 蒸发源
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