美国,R.D. Mathis Company,13g,SO-24,蒸发舟,蒸发源
SO-24规格:1.67 Volts, 264 Amps, 441 Watts, 1200°C Temp, 13g
RD Mathis company是蒸发源和材料领域的领导者。
R.D.Mathis公司的“挡板盒”一氧化硅源,SiO源,已被证明是一种非常成功的沉积一氧化硅的方法。原料被放置在船上的独立空腔内,当加热时,它沿着一条间接路径穿过一系列挡板,然后离开排气烟囱。衬底在任何时候都看不到大块材料。这基本上消除了导致针孔型缺陷的任何喷溅和流的机会。所示的许多源都有向上、向下或水平排气口。
R.D. Mathis Company 1.5g SO-20蒸发舟尺寸:
RD Mathis company提供以下产品:
蒸发源/蒸发舟
氧化铝涂层源
SiO和ZnS的挡板盒源
吊篮和加热器
镀铬钨棒和钨屏
坩埚
折叠式挡板盒式电源
微电子源
点源灯丝
屏蔽坩埚加热器
特种船钽
钨丝
钨、钽钼船源
蒸发材料
电子束衬里
蒸发材料

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https://www.bihec.com/rdmathis-company/SO-24/