RD Mathis Company SO24盒式蒸发源,定向沉积
R. D. Mathis 公司的挡板盒式蒸发源被证明是沉积一氧化硅(SiO)的可靠选择。该设计通过将源材料放置在盒内的分隔腔中来实现。

受热时,蒸发材料会沿着间接路径穿过一系列挡板。这种路径能过滤掉任何微粒,然后这些微粒会从排气管排出。在整个成膜过程中,基板与源材料之间始终没有直线视距,从而抑制了导致针孔类缺陷的溅射和流射现象。
RD Mathis Company 提供定向沉积与定制化服务
标准蒸发源可提供上排气、下排气或水平排气口选项,以满足定向沉积需求。排气口位置及坩埚容量均可根据要求进行定制加工,以适配具体的沉积工艺要求。
SiO与ZnS应用案例
如需获取关于一氧化硅热蒸发技术及沉积效果的相关文献,可查阅由Halex公司的Earl Olson与R. D. Mathis共同撰写的论文《使用多挡板盒式蒸发源进行一氧化硅蒸发》,该文献可通过我们的技术资料库获取。
RD Mathis Company Baffled Box – 13 Gram – SO-24


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