RD Mathis Company SO-22蒸发舟,SO21折流蒸发器
R. D. Mathis 公司的挡板盒式蒸发源被证明是沉积一氧化硅（SiO）的可靠选择。该设计通过将源材料放置在盒内的分隔腔中来实现。
受热时，蒸发材料会沿着间接路径穿过一系列挡板。这种路径能过滤掉任何微粒，然后这些微粒会从排气管排出。在整个成膜过程中，基板与源材料之间始终没有直线视距，从而抑制了导致针孔类缺陷的溅射和流射现象。
RD Mathis Company 提供定向沉积与定制化服务
标准蒸发源可提供上排气、下排气或水平排气口选项，以满足定向沉积需求。排气口位置及坩埚容量均可根据要求进行定制加工，以适配具体的沉积工艺要求。
SiO与ZnS应用案例
如需获取关于一氧化硅热蒸发技术及沉积效果的相关文献，可查阅由Halex公司的Earl Olson与R. D. Mathis共同撰写的论文《使用多挡板盒式蒸发源进行一氧化硅蒸发》，该文献可通过我们的技术资料库获取。
RD Mathis Company Baffled Box – 6.5 Gram – SO-22
1.34 Volts, 246 Amps, 330 Watts, 1200°C Temp, 6.5g
RD Mathis Baffled Box – Downward Evaporation – 1.5 Gram – SO-21
R.D. Mathis RDM-WBAO-3 R.D. Mathis S2B-AO-Mo R.D. Mathis代理 R.D. Mathis蒸发源 RDM-WBAO-1 RDM-WBAO-3 RDM-WBAO-3真空蒸发篮 RD Mathis RD Mathis Company RD Mathis Company SO-22 RD Mathis Company SO-22蒸发舟 RD MATHIS Crucibles RD MATHIS代理 RD MATHIS办事处 RD Mathis蒸发篮 RD Mathis蒸发舟 S1-AO-Mo蒸发舟 SO-22蒸发舟 氧化铝坩埚 氮化硼坩埚 真空镀膜蒸发舟 真空镀膜钨丝蒸发篮 进口蒸发舟 钨丝蒸发篮 钨舟 镀氧化铝蒸发源
