美国R.D. Mathis SM-11 蒸发舟|镀膜机用蒸发舟|带挡板盒式蒸发源|R.D. Mathis蒸发舟|进口代理R.D. Mathis
R.D. Mathis SM-11 蒸发舟
Baffled Box – Downward Evaporation – 5 Gram – SM-11
1.26 Volts, 236 Amps, 297 Watts, 1200°C Temp, 5g
带挡板的盒式蒸发源
R. D. Mathis 公司的带挡板盒式蒸发源（Baffled Box Source）已被证明可可靠地用于一氧化硅（SiO）的沉积。
这种设计的工作方式是：将源材料分别放置在盒体内部相互分隔的腔体中。
- 加热后，汽化的材料沿着一系列挡板形成的曲折路径间接运动。
- 这种曲折路径能够过滤掉颗粒物，颗粒物随后通过烟囱式排气口排出。
- 在整个薄膜形成过程中，基片始终不会与大量源材料形成直视通路，从而抑制喷溅和流束现象，减少由此产生的针孔类缺陷。
定向沉积与定制
标准蒸发源可提供向上、向下或水平方向的排气口，以实现定向沉积。
根据具体沉积需求，可按照要求定制排气口的位置以及盒体的容量。
一氧化硅和硫化锌应用
如需了解一氧化硅热蒸发技术及其沉积效果，可参考哈尔克斯公司的厄尔·奥尔森与R·D·马西斯共同撰写的论文《采用多挡板盒式蒸发源进行一氧化硅蒸发》。
