进口代理RCH Associates蒸汽发生器,水汽发生器,RCH® Steamer 225 系列,225A,225B,RA100531

RCH® Steamer 225 系列 蒸汽发生器——紧凑型超高纯蒸汽生成与控制

**流量：**适用于大气压和真空工艺压力，最大可达 12.5 SLPM

优势（Benefits）

• 纯度 —— 专利技术可去除挥发性物质、离子污染物及其他杂质。

• 均匀性 —— 100% 蒸汽流量，最高 12.5 SLPM，可实现更快的管道饱和。

• 生长速率 —— 通过消除可能减缓过程的载气，氧化物生长速率可提升 高达 20%，远快于氧气气泡法。

• 良率 —— 金属、烃类和颗粒自动排除，减少废品产生。

• 产能 —— 可连续无人值守 24/7 运行，无耗材，维护项目有限。

• 安全性 —— 消除氧化过程中的可燃和易爆气体，运行温度显著降低（低于 115°C）。

• 拥有成本 —— 消除了昂贵的气体使用和储存成本，低运行成本、更高产能、增加晶圆批量、消除火焰喷射炉故障，无需冷却，投资回报快。

产品描述（Product Description）

RCH Steamer 将清洁蒸汽发生器与纯化组件整合为单一系统。蒸汽路径中所有接触水的组件均为石英或特氟龙®（Teflon®）。与其他蒸汽技术相比，RCH Steamer 可提高氧化物生长速率、腔体均匀性和薄膜质量，同时降低运行成本。

RCH Steamer 采用非多孔亲水膜，选择性允许水蒸气通过。该膜对氮分子的选择性可达 1,000,000 倍。在蒸汽相中，膜仅允许水分子通过，而其他分子被严格限制，因此水中的污染物（如溶解气体、离子、TOC、有机尿素、颗粒、病毒、细菌、焦炭（pyrons）和金属）都可在蒸汽相中被去除。

已有数据表明，可将 67 种不同金属 降至检测限以下，一些污染物甚至可低于 0.0005 ppb。尿素、氨和 CO₂ 也可被减少。RCH Steamer 可在低压水蒸气下工作，因此可用石英和氟聚合物管道替代不锈钢输送系统。

Steamer 已成功替代大气工艺中的气泡器和蒸发器。使用 Steamer 225，客户也可将大气氧化配方直接转移至低压热氧化工艺。

产品规格（Product Specifications）

特点（Features）

• 最大流量 12.5 SLPM

• 800 瓦清洁蒸汽

• 专利及专利申请中的流量控制设计

• 本地及远程控制

• 各金属污染物 < 10 ppt（其他污染物请咨询工厂）

• 自动液位/注水控制

• 前面板状态指示及 LED

• 多项板载诊断功能

• 工艺输送管道辅助加热控制

• 过温保护

• 外部阀门控制

• 可配置交流输入电压

• 下一代锅炉和加热器

• 印刷电路板（PCB）

材质（Materials of Construction）

• 蒸汽路径中所有接触水的组件均为石英或氟聚合物

• 蒸汽净化器上游的压力传感器为 316L 不锈钢

占地尺寸（Footprint）

• 宽 156 mm × 深 366 mm × 高 321 mm