RCH® Steamer 102B-50，蒸汽发生器
集成单元，用于高流量蒸汽产生与输送
流量高达 50 slm。
RCH® Steamer 将洁净蒸汽发生器、蒸汽流量控制器和蒸汽净化组件集成到单一系统中。液体路径中所有接触液体的组件均为石英或 Teon® 材料。净化后的蒸汽路径组件包括石英和 Teon® 配件及阀门。
RCH Steamers 已被证明能够在与其他蒸汽技术比较时，提高氧化生长速率、腔体均匀性、薄膜质量，或降低操作成本。测试显示可将 67 种不同金属的含量降低至低于检测限。一些污染物已被验证低于 0.0005 亿分之一（ppb）。尿素、氮气和二氧化碳也可大幅减少。
由于 RCH Steamer 使用低压水蒸气工作，原本的不锈钢输送系统可以替换为石英和氟聚合物管路系统。
RCH Steamer 的两大主要组件：
RCH Steamer — 蒸汽发生器，将 DI 水转化为高流量的超高纯水蒸气（UHP），并控制 DI 水位和蒸汽流量。
RCH SPA — 净化组件，通过选择性去除溶解气体、金属和颗粒，将洁净蒸汽净化至超高纯蒸汽（UHP），低于检测限。
RCH Steamer 的优势
RCH Steamer 是唯一能够从 DI 水提供可控超纯蒸汽输送的系统。主要优势包括：
纯度 — 专利申请技术消除挥发性物质、离子污染物及其他杂质，其纯度等于或优于通过燃烧氧气与氢气产生的热解蒸汽。
产率 — 非多孔膜可阻隔金属、碳氢化合物和颗粒，提供最纯净的蒸汽。
通量 — 可实现连续 24/7 无人值守运行。通过消除如氢气和氧气等载气，可提升生长速率高达 20%。与热解火炬相比，增加流量时不会出现热积累。
安全性 — 在氧化过程中消除 H₂ 和 O₂，避免易燃或爆炸性物质。工作温度显著降低（低于 125°C，而非超过 500°C）。
拥有成本 — 最小化备件和消耗品，消除昂贵的氢气和氧气使用及储存需求。低运行成本实现快速回报，无需像火炬那样冷却。
多功能性 — 适用于广泛的流量和压力范围。
工作原理
加热器从 DI 水产生蒸汽。
通过测量蓝宝石孔口的压降监控流量。
通过调整加热器能量增加或减少流量。
RCH SPA 内的非多孔亲水膜净化蒸汽，选择性允许水蒸气通过。其选择性非常显著，相对于氮分子可达 1,000,000 倍。在蒸汽相中，膜选择性通过水分子，而其他分子受限，因此水中的溶解气体、离子、有机碳（TOC）、尿素、颗粒、病毒、细菌、炭疽孢子及金属等污染物可在蒸汽相中被去除。
水位持续监控并调整，确保连续蒸汽流量。
产品规格
水蒸气流量高达 50 slm
自动水位 / 补水控制
真空至 1200 Torr（0 至 23 psia）
手动与自动操作
PLC 驱动
本地及远程控制
二次温度控制回路
下游 / 上游压力监测
专利申请蒸汽流量控制
冲洗 / 排水功能
集成净化器
净化性能结果（ppb）
设备规格
环境条件
0°-40° 摄氏度
湿度 30% 至 90%，无冷凝
Class 1000 洁净室或设备柜
保护设备免受周围工艺设备漏水影响
水源
调节并过滤至 0.1 µm，压力 1-1.3 barg（15-20 psig），18 兆欧 DI 水
压缩空气/氮气 (CDA/N2)
压力要求 5.5 ± 0.7 barg（80 ± 10 psig），过滤至 1 µm
干重
20.4 公斤（45 磅）
外形尺寸
372 mm (宽) x 450 mm (深) x 467 mm (高)
14.6 in (宽) x 17.7 in (深) x 18.4 in (高)
所需工具及耗材
6 mm (1/4”) & 12 mm (1/2”) 扩口工具
6 mm (1/4”) & 12 mm (1/2”) PFA 管
净化蒸汽输送管路加热器
排水
最小 1/2” 系统排水管，耐温 100°C
电源要求
200-240 VAC，20A，单相
熔断器/断路器：200-240 VAC，20A
如何下单
要订购 RCH Steamer，只需根据下表中的 流量 和 电气要求 确定型号编号。
| 型号 # | 最小流量 (slm) | 最大流量 (slm) | 电流 (A) | 电压 (V) | 水 @ 15 psig (ml/min) | CDA/N2 (psig) |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 102B50 | 5 | 50 | 20 | 200-240 | 80 | 60 |
然后，在型号后添加下列选项中的一个设计符号（Designator）。
设计符号选项
O — 标准机柜
SC — 分体机柜。分体机柜选项允许电子设备最多远离蒸汽机柜 6 英尺（2 米）。
V — 真空至大气输送。在蒸汽净化器下游的蒸汽工艺管线上安装 316L 不锈钢压力传感器，用于监控下游压力。这可实现向真空和大气工艺的流量控制，并使流量独立于大气压波动。
A — 大气输送。该设备设计用于向大气工艺输送蒸汽。下游压力基于机柜内压力。
示例
若要订购一台在 208VAC 环境下工作、采用分体机柜且大气输送的设备，请指定型号：102B50-SCA。
额外可选组件
DI 水套件 (100195)
https://www.bihec.com/rchassociates/进口代理RCH Associates水汽发生器,RCH® Steamer 102B-50蒸汽发生器/