RCH Associates 的 STEAMER 是唯一一种无需使用氢气（H₂）即可生成超高纯度蒸汽的高效解决方案，适用于硅及其他半导体材料的湿法氧化和蒸汽退火。蒸汽仅使用 去离子水（DI:H₂O） 生成，无需任何氢气。
STEAMER 是一个自成模块的系统，可放置在标准气体源柜的架子上，该气源柜通常用于水平炉和垂直炉。该系统适用于大规模生产，也可用于试验线及科研应用。
STEAMER 的核心技术基于专有膜技术。去离子水被加热后通过膜进行纯化，使蒸汽纯度达到或超过由火焰喷射炉（pyrogenic torch）产生的蒸汽纯度……且无需使用 H₂ 与 O₂ 生成超高纯度蒸汽，从而避免了火焰喷射炉操作中的安全隐患和高成本。
STEAMER 的另一大优势是可产生远高于火焰喷射炉的蒸汽流量。高流量蒸汽可使工艺管道完全饱和，即使是更大的管道也能充分饱和，从而提高晶圆内和晶圆间的均匀性。此外，与火焰喷射炉相比，氧化生长速率可提升约 15%。
使用 STEAMER，可消除火焰喷射炉石英件的降解问题，显著提高设备运行时间、产能，并减少火焰炉系统所需的预防性维护工作。
STEAMER 单元的操作方式类似质量流量控制器，具有常用设定点和读数控制功能，便于与扩散炉气体系统控制接口连接。互锁装置可监控 STEAMER 的运行状态，确保其稳定工作，并提供输出信号以便主控制器实时监控。
对设施的要求也更为简化。STEAMER 仅需受控的 16 兆欧 DI:H₂O 供水和少量 DI:H₂O 排水即可运行。用于连接 DI:H₂O 至 STEAMER 的接口使用常用管件，同时提供电源和主控接口，便于快速连接。
电气或电子设备包括布线、电路板和组件，均装在金属外壳内。
RCH Steamer™ 的优势
无需氢气即可生成超高纯度蒸汽：实现安全运行、性能提升并降低成本。仅需 DI:H₂O 生成蒸汽。
消除火焰喷射炉石英件：避免石英件在火焰生成过程中降解，从而提高设备运行时间并减少维护。
改善炉温平整性：消除火焰喷射炉产生的额外热量，提升均匀性和整体温控性能。
高蒸汽流量：相比火焰喷射炉，可实现工艺管道完全饱和，从而提高氧化物均匀性和氧化速率。
保持氧化层介电完整性：生成的氧化物与火焰喷射炉蒸汽相同。
类似质量流量控制器的接口：可与大多数扩散炉系统的气体系统和主控系统连接，可用于新安装或现有炉系统改造。
https://www.bihec.com/rchassociates/RCH Associates水汽发生器/蒸汽发生器, RCH Steamer™ 型号 225,RCH Steamer™ 型号 102B-25,RCH Steamer™ 型号 102B-50/